초음파 스프레이 및 열 스핀 코터

Ultrasonic Spray & Thermal Spin Coater ToronSCTM-AL 150 UL

초음파 스프레이 및 열 스핀 코팅기 - ToronSC™-AL 150 UL

초음파 스프레이 및 열 스핀 코터 ToronSC™-AL 150 UL은 초음파 스프레이, 스핀 회전 및 제어된 가열을 사용하여 웨이퍼 및 평면 기판에 균일한 코팅을 지원합니다. 코팅 도포 중 점도 변화, 코팅 뭉침 또는 용매의 불균일한 증발은 필름 품질을 저하시킬 수 있습니다.

이 시스템은 초음파 노즐을 사용하여 코팅액을 미세 분무한 후 고속 회전을 통해 균일하게 분산시킵니다. 통합된 캐비티 가열 기능은 시료를 다른 스테이션으로 이동시키지 않고도 코팅 후 열처리 단계를 지원합니다. 가스 보호 경로는 코팅 과정 중 주변 공기에 노출되는 것을 최소화합니다.

초음파 스프레이 및 열 스핀 코팅 장비인 ToronSC™-AL 150 UL은 실험실 및 파일럿 규모의 워크플로우에 적합하게 설계된 소형 회전식 코팅 플랫폼입니다. 초음파 스프레이를 통해 재료를 고르게 도포한 후, 스핀 코팅을 별도의 공정 단계로 진행할 수 있습니다.

캐비티 내부의 발열체는 온도 제어 코팅 및 베이킹 공정을 지원합니다. 플로트 유량계는 가스 흐름을 제어하며, 민감한 코팅을 보호하기 위해 불활성 가스를 주입할 수 있습니다. 정밀한 속도 프로파일은 반복 공정에서 두께 균일성을 안정화하는 데 도움을 줍니다.​

초음파 스프레이 및 열 스핀 코팅기 ToronSC™-AL 150 UL의 주요 특징

• 초음파 분무 증착을 통해 더욱 미세하고 균일한 코팅 분포를 구현합니다.
• 고속 회전으로 균일한 도막 평탄화 및 두께 제어가 가능합니다.
• 온도 제어 코팅 및 베이킹 단계를 위한 통합 열 캐비티
• 민감한 물질에 대한 플로트 유량계로 제어되는 가스 보호 경로
• 안정적인 분무 성능을 위해 설계된 티타늄 합금 초음파 노즐
• 레시피에 최적화된 작동 방식과 넓은 속도 및 가속도 범위
• 연구실 및 시범 생산 라인에 적합한 소형 시스템 설계

초음파 스프레이 및 열 스핀 코팅기 ToronSC™-AL 150 UL의 적용 분야

초음파 스프레이 및 열 스핀 코팅기인 ToronSC™-AL 150 UL은 균일한 필름 형성과 제어된 증착이 중요한 표면 코팅 및 공정 개발에 적합합니다.

• 반도체 실리콘 웨이퍼 코팅 및 공정 시험
• 유리 슬라이드 및 유리 기판 코팅
• 실험실 작업용 웨이퍼 및 평면 기판에 대한 일반 코팅
• ITO 전도성 유리 코팅 및 관련 제판 공정
• 분무 증착, 스핀 레벨링 및 가열을 결합한 연구 개발 워크플로우