자동 초음파 분무 및 열 스핀 코팅기

Automatic Ultrasonic Spray & Thermal Spin Coater - ToronSC™-SS 300 UL



 

자동 초음파 스프레이 및 열 스핀 코팅기 - ToronSC™-SS 300 UL

자동 초음파 스프레이 및 열 스핀 코팅기 ToronSC™-SS 300 UL은 초음파 스프레이, 스핀 레벨링 및 제어된 가열을 사용하여 대형 웨이퍼 및 평면 기판에 균일한 코팅을 지원합니다. 박막 코팅은 분무가 고르지 않거나, 용매가 고르지 않게 증발하거나, 코팅이 퍼지는 동안 뭉치는 경우 실패할 수 있습니다.

이 시스템은 초음파 콘 노즐을 사용하여 기판에 재료를 분사한 후, 제어된 회전을 통해 도막을 평탄화합니다. 내장된 가열 및 가스 분배 시스템은 민감한 코팅 공정의 안정성을 보장합니다. 이 플랫폼은 반복 가능한 코팅 결과가 필요한 실험실 및 파일럿 환경에 적합하도록 설계되었습니다.

자동 초음파 스프레이 및 열 스핀 코팅기 ToronSC™-SS 300 UL은 초음파 스프레이 증착과 열처리 공정을 하나의 시스템에서 통합한 완전 자동 회전 코팅 플랫폼입니다. 스핀 코팅은 독립적인 단계로 진행할 수 있어 필름 두께와 균일성을 정밀하게 조절할 수 있습니다.

챔버 내부의 발열체는 증착 후 온도 보조 코팅 및 베이킹 공정을 지원합니다. 플로트 유량계는 가스 흐름을 제어하며, 공정 요구 사항에 따라 코팅 중 보호 가스를 주입할 수 있습니다. 대형 챔버는 최대 12인치 웨이퍼 작업을 지원하면서도 안정적인 작동을 보장합니다.​​

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ToronSC™-SS 300 UL 자동 초음파 스프레이 및 열 스핀 코팅기의 주요 특징

균일한 도포를 위한 초음파 분무 증착

초음파 콘 노즐은 코팅액을 미세하게 분무하여 기판에 더욱 정밀하게 코팅할 수 있도록 합니다. 이러한 방식은 더 넓은 웨이퍼 영역에 걸쳐 반복적인 코팅 적용을 가능하게 합니다. 분무 공정은 스핀 레벨링과 함께 사용하여 필름의 균일성을 향상시킬 수 있습니다.

챔버 내부의 열 및 가스 제어 지원

통합 가열 시스템은 온도 보조 코팅 및 코팅 후 열처리 공정을 지원합니다. 플로트 유량계가 장착된 가스 통로는 공정 중 주변 공기로부터 코팅을 보호하는 데 도움이 됩니다. 이는 산화 또는 습기에 민감한 화학 물질에 유용합니다.

대형 웨이퍼 작업을 위한 자동화 플랫폼

이 시스템은 최대 12인치 웨이퍼를 지원하며, 레시피에 맞춰 속도와 가속도를 편리하게 제어할 수 있습니다. 오일 프리 진공 펌프는 코팅 과정 중 기판을 안정적으로 고정해 줍니다. 캐비닛형 디자인은 더욱 깔끔하고 밀폐된 코팅 작업 환경을 원하는 연구실에 적합합니다.​

 

자동 초음파 스프레이 및 열 스핀 코팅기 ToronSC™-SS 300 UL의 적용 분야

자동 초음파 스프레이 및 열 스핀 코팅기인 ToronSC™-SS 300 UL은 필름 품질, 반복성 및 제어된 공정 조건이 중요한 표면 코팅 작업에 적합합니다.

• 반도체 실리콘 웨이퍼 코팅 및 공정 개발
• 유리 슬라이드 및 평면 유리 기판 코팅
• 실험실 시험에 사용되는 웨이퍼 및 일반 기판에 코팅
• ITO 전도성 유리 코팅 및 제판 관련 워크플로우
• 초음파 스프레이, 스핀 레벨링 및 열처리 단계를 통해 이점을 얻을 수 있는 공정