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PCB 연구장비
UV오존(광표면) 처리장비 UVO-16W

** UV오존표면처리기 **

      UVO-16W

 







 

단파장의 UV 를 이용하여 C=C 이중결합의 제거 및 활성산소에 의한 유기물 ashing 작용 등을 거쳐

마스터 표면상에 존재하는 anchoring point 를 제거하는 기능

단파장 UV 를 방사하는 다량의 UVO lamp 및 공정 중 발생된 오존의 원활한 배기 및 신규 산소 공급을

위한 blower 필요 

 

 

UVO lamp
- 저압의 Hg vapor가 충전된 lamp 

- Tube 재질은 고순도 석영관으로 살균선(253.7nm)의 출력은 Germicidal Lamp와 동일
- 활성산소 및 오존을 발생시키는 184.9nm 의 자외선 방출하여 강력한 표면개질효과 기대

 


 

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