Magnetron Sputtering System
마그네트론 스퍼터링 시스템
마그네트론 스퍼터링 시스템 ToronSP-400은 프리즘형 또는 원통형 진공 챔버로 설계된 박스형 물리 기상 증착(PVD) 시스템입니다. 1~4개의 DC/RF 스퍼터링 소스를 갖추고 있어 최대 4가지 소재를 사용하여 다층 박막 증착이 가능합니다.
ToronVak 스퍼터 시스템은 사용자 요구 사항에 맞춰 맞춤 제작이 가능하여 다층 나노스케일 금속, 산화물, 탄화물 또는 질화물 박막을 생산할 수 있습니다. 호환 가능한 소재로는 Ni, Fe, Au, Zr, Ti, Si, SiO₂, ZnO, TiO₂, Si₃N₄, SiC 등이 있습니다.
● 모델명 : ToronSP-400
Applications (어플리케이션)
반도체 및 마이크로 전자공학 - 집적 회로, 센서, 광전자 소자용 다층 박막 증착으로 나노 스케일에서 높은 정밀도와 균일성을 보장합니다.
재료 과학 및 나노 기술 - 연구, 프로토타입 제작, 기능성 소재 혁신을 위한 금속, 산화물, 탄화물, 질화물 필름과 같은 첨단 코팅 개발.
광학 및 포토닉스 - 광학 부품, 레이저, 광자 소자에 반사 방지, 전도성, 유전성 코팅을 제작하여 성능을 개선합니다.
에너지 및 재생 에너지 기술 - 태양 전지, 연료 전지, 에너지 저장 장치용 박막 코팅 생산으로 효율성과 내구성을 향상시킵니다.
항공우주 및 자동차 공학 - 극한 조건에서도 신뢰성을 향상시키기 위해 중요 구성품에 내마모성, 내부식성 및 열 차단 코팅을 적용합니다.
표면 엔지니어링 및 코팅 서비스 - 산업용 애플리케이션, 프로토타입 제작, 특수 계약 코팅 프로젝트를 위해 다양한 기판에 맞춤형 박막을 정밀하게 증착합니다.
연구 개발 - 대학, 연구소, 기업 R&D 센터에서 새로운 소재, 증착 기술, 다층 코팅 공정을 탐색할 수 있는 다목적 플랫폼입니다.
Features/Advantages (특징/장점)
완전 자동화된 터치스크린 제어 – 원활한 작동을 위한 실시간 LCD 디스플레이
고품질 진공 챔버 – 전기 연마 표면이 있는 프리즘형 또는 원통형 SS304 챔버; 30, 40, 50 및 60cm 크기로 제공
향상된 가시성 및 접근성 – 전면 보기 창 및 회전식 셔터
다목적 연결 – 표준 1인치, QF, CF 및 ISO 포트
최적화된 내부 시스템 – 내장 조명 및 베이킹 시스템(최대 120°C)
전원 공급 장치 옵션 – RF: 13.6MHz, 300-1200W | DC: 0-1000V, 2000W
높은 진공 성능 – 기본 압력: 10⁻⁸ Torr | 20분 안에 2x10⁻⁶ Torr 달성
고급 펌핑 시스템 – 터보 분자 + 기계식 펌프; 크라이오 및 건식 펌프 사용 가능
광범위한 진공 제어 – 1000 - 10⁻⁹ Torr 정밀 모니터링
맞춤형 샘플 처리 – PID 제어 가열(50-700°C) 및 조정 가능한 샘플 회전(2-30rpm)
플라즈마 세척 장치 – RF 바이어싱을 통한 RF 플라즈마 세척
효율적인 냉각 시스템 – 자동 시작-정지, 폐쇄 루프 수냉
정밀 코팅 제어 – 1~4개 QCM을 사용한 듀얼 채널 두께 속도 측정(0,1Å/s)
유연한 스퍼터링 옵션 – 1-4 DC/RF 마그네트론 스퍼터 소스(1”, 2”, 3”, 4”)
가스 흐름 관리 – 3채널 실시간 제어가 가능한 질량 유량계 제어 입력(Ar, N₂, O₂, He, CH₄, H₂)
압력 조절 – 정밀한 압력 조정을 위한 스로틀, 벤트 및 격리 밸브(1~100mTorr)
최적화된 실험 주기 – 1.5시간 사이클 시간
진공 유지 – 사용하지 않을 때는 격리 밸브로 진공 상태를 유지합니다.
스마트 PC 제어 – 다층 코팅을 위한 LabVIEW 기반 자동화
추가 정밀 모니터링 – 정확한 플라즈마 압력 측정을 위한 정전식 압력계
컴팩트하고 이동성이 뛰어난 디자인 – 잠금식 바퀴가 달린 75x120cm 면적, 표준 문을 통과할 수 있음
신뢰할 수 있는 빌드 – 디자인, 소재, 제작 기술에 대한 1년 보증
