High-Vacuum, Double-Magnetron Target Sputter Coater/ ThermalEvaporator - DST2-TG
고진공, 이중 마그네트론 타겟 스퍼터 코터/열증발기 - DST2-TG
고진공, 이중 마그네트론 타겟 스퍼터 코터/열증발기-DST2-TG, 또는 이중 타겟 터보 펌프 스퍼터 코터 및 열증발기는 열증발과 스퍼터 코팅을 하나의 소형 데스크톱 장치에 완벽하게 통합한 최첨단 코팅 시스템입니다. 이 다재다능한 기술은 편리한 Wi-Fi 연결을 통해 원격 시스템 제어를 제공하여 사용자가 사용하기 편리한 터치스크린이나 PC를 통해 작업을 손쉽게 관리할 수 있도록 합니다.
● 모델명 : DST2-TG
Applications (어플리케이션)
최첨단 마그네트론 데스크 스퍼터 코터인 DST2-TG는 넓은 챔버(직경 300mm)와 2인치 직경의 수냉식 캐소드 두 개를 갖추고 있어 장시간 증착 작업에 이상적입니다. 이 다재다능한 시스템은 스퍼터링, 탄소 섬유 증착, 금속 증착을 위한 단일 플랫폼으로 활용됩니다.
글러브 박스용으로 특별히 설계된 데스크 스퍼터 코터는 반도체, 유전체 및 금속 타겟을 효과적으로 스퍼터링할 수 있습니다. 사용자는 스퍼터링 캐소드와 열 증발 보트를 서로 바꿔서 또는 동시에 설치할 수 있어 총 세 개의 증착 소스를 사용할 수 있습니다.
게다가 탄소 섬유를 활용하면 탄소 증착이 가능해져서 사용 가능한 증착 재료의 범위가 확대됩니다.
이 고정밀 진공 코팅 시스템은 반자동/완전 자동 시스템으로 설계되었으며, 증착 공정 데이터를 제어하고 조정할 수 있는 사용자 친화적인 7인치 컬러 터치스크린 패널을 갖추고 있습니다. 직관적인 소프트웨어 인터페이스는 작동을 간소화합니다. 사용자는 Wi-Fi 연결을 통해 PC에서 제어판 창에 접속할 수도 있습니다.
이 시스템은 진공 레벨과 코팅 순서 정보를 모니터링할 수 있으며, 이는 터치스크린에 디지털 데이터 또는 곡선으로 표시됩니다. 또한, 최근 300개의 코팅이 저장되어 시스템 기록 페이지에서 확인할 수 있습니다.
제품: DST2-TG 터치스크린 진공 코터 글러브 박스용 스퍼터 코터와 열 증발기는 다음과 같은 옵션 시설을 통해 더욱 향상될 수 있습니다.
RF 스퍼터링 공정에서 반사되는 전력을 최소화하기 위한 자동 조절 매칭 박스가 있는 RF 전원 공급 장치입니다.
박막 증착 전 기판 표면에서 유기물을 효과적으로 제거하기 위한 플라즈마 세정기입니다.
Features/Advantages (특징/장점)
글러브박스 장착을 위해 설계된 스퍼터 코터와 열 증발기의 융합
효율적인 진공 성능을 위한 내장형 터보 분자 펌프 장착
직경 30cm, 높이 20~25cm의 넓은 챔버
타겟 설치가 쉽고 빠릅니다. 타겟 홀더가 필요하지 않습니다.
백킹 플레이트가 있는 타겟으로 인해 열 전도가 향상되었습니다.
회전을 위해 설계된 샘플 홀더로 균일한 코팅을 촉진합니다.
전원 공급 장치(DC, RF, 고전류), 진공 펌프 호스, 수냉, 아르곤/반응성 가스 연결 및 전기 연결을 위해 글러브박스에 장착된 KF40 피드스루
질량 유량 컨트롤러(MFC)를 통한 정밀 가스 주입 제어
필름 두께의 정확한 모니터링을 위해 두 개의 고정밀 석영 수정 두께 센서를 통합했습니다.
Vac Coat 제품은 포괄적인 공공 및 제품 책임 보험으로 전 세계적으로 보장되며, Vac Coat 시스템 사용으로 인해 발생하는 재산 피해나 개인 상해에 대한 보장을 제공합니다.
자동화 기능:
반자동 코팅 공정(선택 사항): 이 시스템은 자동 또는 반자동 코팅 공정의 유연성을 제공하여 사용자가 필요에 따라 자동화 수준을 선택할 수 있도록 합니다.
효율적인 데이터 입력 및 저장: 증착 공정 매개변수에 대한 신속한 데이터 입력으로 워크플로우 효율성 향상. 증착 공정 데이터를 안전하게 저장하여 손쉽게 검색하고 참조할 수 있습니다.
원격 프로세스 제어: Wi-Fi 연결을 통해 PC에서 원격으로 증착 프로세스를 제어하고 모니터링할 수 있어 편의성과 유연성이 제공됩니다.
코팅 레시피 보관: 코팅 레시피를 저장하여 특정 증착 공정을 복제하여 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있는 기능입니다.
전자 셔터: 코팅 공정을 정밀하게 제어하고 증착 중 기판 노출을 관리하기 위해 전자 셔터를 통합했습니다.
자동 음극 선택: 음극을 자동으로 선택하여 프로세스를 간소화하고 재료 요구 사항에 따라 최적의 증착 조건을 보장합니다.
선택 시설:
비전도성 타겟 증착을 위한 RF 스퍼터링(선택 사항): 비전도성 타겟의 증착을 용이하게 하기 위해 RF 스퍼터링 기능을 통합하여 코팅할 수 있는 소재의 범위를 확장했습니다.
플라스마 세정기(선택 사항): 박막 증착 전에 기판 표면에서 유기물을 효과적으로 제거하기 위해 플라즈마 세정기를 포함하는 옵션으로, 깨끗한 기판을 보장하여 우수한 코팅 품질을 보장합니다.
Theory/Method (이론/방법)
고진공 환경에서 작동하도록 설계된 이 시스템은 다양한 소재 증착에 최적화되어 있어 다양한 코팅 응용 분야에 최적의 선택입니다. 더블 마그네트론 타겟 데스크 스퍼터 코터는 증착과 스퍼터링 증착을 원활하게 전환할 수 있는 유연성을 제공하여 정교한 다층 코팅을 용이하게 구현합니다.
글러브 박스 환경에서 코팅 공정에 혁명을 일으키는 올인원 솔루션인 DST2-TG로 효율성과 정밀성의 전형을 경험해보세요.
글러브 박스 시스템은 섬세한 소재에 안전한 환경을 조성하여 공기, 습기 및 원치 않는 상호작용을 방지합니다. 글러브 박스와 통합된 DST2-TG 고진공 코팅 시스템은 불활성 가스 분위기에서 증착 공정 전후 기판을 안전하고 깨끗하게 취급합니다. 이러한 구성은 정밀하게 제어되는 챔버 환경을 제공하여 고진공 조건에서 초고순도 박막을 정밀하게 증착할 수 있도록 합니다.
