High Vacuum, Triple Magnetron Target Desk Sputter Coater-DST3-A/S
고진공, 트리플 마그네트론 타겟 데스크 스퍼터 코터-DST3-A/S
고진공 트리플 마그네트론 타겟 데스크 스퍼터 코터-DST3-A/S는 터보 분자 펌핑 기능을 갖춘 다용도 다중 타겟 진공 코터 시스템으로, 다양한 소재 증착에 적합합니다. 직경 300mm의 넓은 챔버와 2인치 직경의 수냉식 캐소드 3개가 장착되어 증착 시간을 연장합니다.
이 트리플 마그네트론 타겟 데스크 스퍼터 코터는 RF 및 DC 전원 공급 장치를 모두 갖추고 있어 반도체, 유전체, 그리고 산화 금속과 귀금속을 포함한 다양한 금속 타겟을 효과적으로 스퍼터링할 수 있습니다. RF 스퍼터링 공정을 최적화하기 위해 이 시스템에는 반사 전력을 최소화하는 자동 조절 매칭 박스가 포함되어 있습니다.
기판에 대한 필름 접착력을 강화하고 필름 구조를 개선하기 위해 기판에 300V DC 바이어스 전압을 인가할 수 있는 옵션 기능도 있습니다.
DST3는 음극의 상태에 따라 두 가지 모델로 제공됩니다.
● 모델명 : DST3-A/S
Applications (어플리케이션)
금속, 반도체 및 유전체 필름
나노 및 마이크로 전자 응용 분야
태양 전지 개발
공동 스퍼터링 공정
GLAD 스퍼터링 기술
광학 부품의 코팅
박막 센서 제작
자기 박막 소자의 생산
SEM 및 FE-SEM 샘플 준비를 위한 미세 입자 구조 증착
Features/Advantages (특징/장점)
하드웨어:
터보 펌프가 내장되어 높은 진공 수준을 제공합니다.
금속, 반도체 및 유전체에 적합한 DC 및 옵션 RF 전원 공급 장치 장착
합금 필름(DST3-A) 및 다층 증착 생산에 적합한 2인치 수냉식 각진 마그네트론 음극 3개
DST3-S 모델용 대형 샘플 홀더 스테이지(8인치)
대형 기판에 균일한 증착을 위해 설계된 음극 마스크(DST3-S)
실시간 두께 측정(정밀도 1nm)을 위한 2개의 고정형 및 이동형 석영 수정 모니터링 시스템
2개의 질량 유량 컨트롤러(MFC)를 통한 가스 주입 제어
전자 가스 밸브
2단 로터리 베인 백킹 펌프(다이어프램 및 스크롤 펌프)
풀 레인지 진공 게이지
캐소드 선택 모터
샘플 회전, 높이 및 기울기 조절 가능(3인치 샘플 홀더용)
3개의 수동 또는 옵션 전자 셔터 장착
프로그래밍 가능한 기판 히터(옵션)
진공을 깨지 않고 무제한 증착 시간
2 년 보증
자동화 :
코팅 공정을 쉽게 제어하고 데이터를 빠르게 입력할 수 있는 직관적인 터치 스크린
네트워크 연결을 통해 업데이트 가능한 사용자 친화적 소프트웨어
옵션으로 제공되는 반자동 코팅 공정
자동 모드에서 반복 가능하고 프로그래밍 가능한 스퍼터링 프로세스
터치 스크린 패널을 통한 DC, RF 및 고전류 증착을 위한 선택적 조정 가능 매개변수
수동 또는 자동 시간 및 두께 증착
반복 가능한 증착을 위한 코팅 레시피를 저장하는 기능
다층 박막 필름을 위한 타겟 선택
정밀한 제어를 위한 전자 셔터
자동 음극 선택
소프트웨어를 통한 기판 히터 프로그래밍 및 제어
선택 시설:
DST3 진공 코팅기는 외경 300mm, 높이 200mm의 원통형 파이렉스 진공 챔버를 갖추고 있습니다. 내부에는 90L/s 터보 분자 펌프가 장착되어 있으며, 효율적인 진공 작동을 위해 6m³/h 용량의 3단 로터리 베인 펌프가 이를 지원합니다.
깨끗한 진공
전도성 및 비전도성 타겟 증착을 위한 RF 스퍼터링
향상된 세척 기능을 위한 플라즈마 세척기
300V DC 기판 바이어스 전압
코팅 공정 중 정밀한 온도 제어를 위한 500°C 기판 히터.
터치 스크린 제어
DST3에는 7인치 컬러 터치스크린 패널이 탑재되어 있으며, 사용자 친화적인 소프트웨어를 통해 증착 공정 데이터를 원활하게 제어하고 조정할 수 있습니다. 진공 및 코팅 순서 정보는 터치스크린에 디지털 데이터 또는 곡선으로 표시되어 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 또한, 시스템은 사용자의 편의를 위해 최근 300회 코팅에 대한 정보를 히스토리 페이지에 저장합니다.
샘플 홀더 단계
샘플 홀더는 두 가지 표준 크기로 제공됩니다. 3인치는 DST3-A 및 DST3-S 모델 모두에서 사용 가능하며, 8인치는 DST3-S 모델에만 제공됩니다. 사용자는 특정 요구 사항에 맞는 맞춤형 크기를 자유롭게 요청할 수 있습니다. 소형 샘플 홀더에는 회전 중 소형 샘플을 안전하게 고정하도록 설계된 여러 개의 클램프가 장착되어 있어 간편하고 효과적인 솔루션을 제공합니다.
플라즈마 클리너
DST3에는 플라즈마 세정기를 선택적으로 장착할 수 있습니다. 플라즈마 처리 또는 세정은 기판 표면에서 유기 물질을 제거하거나 이온화 가스(플라즈마)를 사용하여 기판 표면을 개질하는 것을 포함합니다. 이 공정은 기판의 표면 특성을 변화시켜 친수성 또는 소수성을 향상시켜 후속 증착을 효과적으로 촉진할 수 있습니다. 또한, 박막 증착 전에 기판에 플라즈마를 적용하면 탄소 기반 잔류물 및 산화물과 같은 표면 오염 물질을 제거하는 동시에 기판과 후속 층 간의 접착력을 향상시키는 데 도움이 됩니다.
Theory/Method (이론/방법)
DST3-A(각진 음극):
DST3-A는 공통 초점을 공유하는 세 개의 각진 음극을 갖추고 있습니다. 이러한 구성을 통해 두 개 또는 세 개의 타겟(옵션)에서 동시에 스퍼터링이 가능하여 합금 형성이나 다층 증착이 가능합니다. 이 모델의 최대 기판 크기는 3인치입니다.
DST3-S(직선 음극):
DST3-S 모델은 3개의 직선형 2인치 수냉식 음극을 장착하고 있으며, 직경이 최대 20cm인 단일 대형 시편 또는 여러 개의 작은 시편을 스퍼터링하도록 설계되었습니다.
Technical Specifications (기술 사양)
최대 진공도: 8x10-6 Torr 미만
테이블 헤더 | | |
펌핑 속도(l/s) | 90 | 350 |
최대 압력(토르) | 8 × 10-6 | 3 × 10-6 |
각 음극은 스퍼터링 속도를 독립적으로 제어하여 미세한 입자 구조를 생성할 수 있습니다.
백킹 플레이트를 포함한 각 타겟의 최대 두께는 6mm입니다.
압력에 관계없이 증착 전력이 자동으로 제어됩니다.
음극 온도는 자석의 수명을 연장하기 위해 자동으로 조절됩니다.
완전 자동 터치 스크린 제어를 통해 데이터가 빠르게 기록됩니다.
두 개의 정밀 질량 유량계(MFC)를 사용하면 진공 압력과 아르곤 또는 기타 반응성 스퍼터링 가스의 흐름을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
350 l/s 터보 펌프에는 전자식 스로틀 밸브가 포함되어 있습니다.
코팅 매개변수가 기록되고 표시됩니다.
증착 과정에서 생성된 곡선과 데이터는 USB 포트를 통해 PC로 전송될 수 있습니다.
옵션으로 300V DC 바이어스 전압을 추가할 수 있습니다.
플라즈마 세정기 옵션도 있습니다.
이 시스템에는 0~1200V, 0~500mA DC 전원 공급 장치가 포함되어 있습니다.
자동 매칭 박스가 있는 300W RF 전원 공급 장치를 옵션으로 구입할 수 있습니다.
전기/가스: 220/110V, 50/60HZ, 전류 정격 16/25A.
기기 치수: 폭 600mm × 깊이 800mm × 높이 770mm(랙 제외).
순중량: 펌프, 랙, 계측기 케이스를 포함한 160kg.
옵션 및 액세서리
석영 수정 센서
예비 유리 챔버
스퍼터링 타겟
씰링 개스킷
300V DC 바이어스 전압
플라즈마 클리너
500°C 기판 히터
