High Vacuum Sputter Coater and Carbon/Thermal Evaporator
고진공 스퍼터 코터 및 탄소/열 증발기
고진공 스퍼터 코터 및 탄소/열 증발기(DSCT-T)는 주사 전자 현미경(SEM) 샘플 준비를 위한 다목적 장비로 설계되었습니다.
세 개의 교체 가능한 헤드를 갖추고 있어 하나의 장비로 스퍼터 코터, 카본 코터, 열 증착기를 모두 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 금(Au), 백금/팔라듐(Pt/Pd) 합금, 은(Ag), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 이리듐(Ir) 등 다양한 소재를 증착할 수 있습니다.
● 모델명 : DSCT-T
Applications (어플리케이션)
주사 전자 현미경 (SEM) – 비전도성 샘플을 준비하여 세부적인 이미징을 위한 고품질 전도성 코팅을 제공합니다.
전계 방출 SEM(FE-SEM) – 고급 표면 분석에 필요한 초미세하고 균일한 필름을 생산합니다.
EDS/WDS 분석 – 정밀한 원소 및 구성 연구에 적합한 오염 없는 코팅을 제공합니다.
투과 전자 현미경 (TEM) – 시편 지지 그리드와 조리개 세척을 위한 얇은 탄소 필름을 사용할 수 있습니다.
전자 후방 산란 회절(EBSD) – 회절 패턴의 선명도를 향상시키는 안정적인 전도성 코팅을 생성합니다.
열 증발 응용 분야 – Au, Ag, Al 등 증발 온도가 낮은 금속의 증착을 지원하여 박막 센서, 광학 부품, 마이크로/나노 전자, 태양 전지 연구에 유용합니다.
박막 연구 – 두께와 입자 크기를 조절하여 귀금속, 탄소, 텅스텐, 크롬 및 기타 까다로운 재료의 증착을 용이하게 합니다.
다공성 및 취약한 샘플 – 섬세한 구조물을 보호하기 위해 선택적인 행성 회전 단계를 통해 균일한 코팅을 제공합니다.
학술 및 연구 실험실 – 교육, 훈련 및 고급 다중 응용 연구 환경에 적합한 다목적 듀얼 모드 시스템입니다.
Features/Advantages (특징/장점)
초당 90리터의 고진공 터보 분자 펌프(Leybold 제조)
2단계 로터리 베인 펌프 또는 다이어프램 펌프를 백업 펌프로 선택
풀 레인지 진공 게이지(Leybold 제조)
탄소섬유 증발 헤드
탄소 막대 증발 헤드
열 증발 헤드
펄스 또는 플래시 탄소 섬유 코팅 모드
1나노미터 정밀도와 1옹스트롬 분해능을 갖춘 석영 수정 두께 모니터
코팅 공정 제어 및 쉬운 데이터 입력을 위한 직관적인 터치스크린 인터페이스
네트워크 연결을 통해 업데이트 가능한 사용자 친화적 소프트웨어
스퍼터링 공정에서 더 미세한 입자 구조를 달성하기 위한 코팅 속도의 정밀한 제어
수동 또는 자동 타이밍 및 두께 스퍼터링 기능
GLAD(Glancing Angle Deposition) 스퍼터링 기능
플라즈마 세척 기능
코팅 매개변수 그래프를 기록하고 시각화하는 기능
전자 셔터 장착
표준 회전 또는 행성 회전 옵션이 있는 쉽게 변경할 수 있는 표본 단계
2년 보증이 적용됩니다
Vac Coat 시스템 사용으로 인해 재산 피해나 개인 부상이 발생하는 경우 공공 보험과 제품 책임 보험을 통해 전 세계적으로 보장됩니다.
DSCT-T의 탄소 증발
소형 코팅 시스템인 DSCT-T 모델(열 증발기 장착 DSCT)은 탄소 섬유(또는 선택적으로 탄소 막대)를 사용하여 다양한 표면에 균일한 박막을 형성하는 탄소 코팅을 구현할 수 있습니다. 펄스 또는 플래시 모드로 탄소 섬유에 전류를 흐르게 하면 탄소가 샘플에 증착됩니다. 이 공정은 기존 탄소 증착 방식에서 흔히 발생하는 이물질의 양을 효과적으로 줄여줍니다.
열 증발
DSCT-T, 스퍼터 코터, 탄소/열 증발기에는 금, 알루미늄, 은 등과 같이 증발 온도가 낮은 금속의 증발을 위해 설계된 열 헤드가 장착되어 있습니다. 이 열 헤드는 이러한 금속의 증착을 가능하게 하고 TEM(투과 전자 현미경) 조리개 세척을 용이하게 하는 두 가지 목적을 제공합니다.
열 증발 공정은 다양한 분야에 활용될 수 있습니다. 예를 들어, 금속 박막 제조, 박막 센서 생산, 광학 부품 제조, 나노 및 마이크로 전자 산업, 그리고 태양 전지 응용 분야의 요구에 부응하는 데 활용될 수 있습니다.
샘플 단계
DSCT-T는 사용자의 특정 요구 사항에 맞춰 다양한 샘플 스테이지 구성을 유연하게 제공합니다. 이 샘플 스테이지는 회전 및 높이 조절이 가능하도록 설계되어 사용 편의성과 적응성을 제공합니다. 다공성 시편에 균일한 코팅을 구현하기 위해 샘플 유성 회전 시스템을 옵션으로 제공하며 적극 권장합니다.
Theory/Method (이론/방법)
또한, 이 고진공 SEM 코터의 열 헤드는 TEM 및 SEM 조리개 세척에도 활용할 수 있습니다. 터보 분자 펌프가 장착된 이 코터는 미세 입자 크기의 고품질 균일 필름을 생산할 수 있습니다. 이러한 특성 덕분에 FE-SEM, EDS/WDS, TEM, EBSD 등 고해상도 및 고품질 특성 분석이 요구되는 시편에 적합합니다.
스퍼터 코터 및 탄소/열 증발기로 알려진 DSCT-T는 2인치 마그네트론 음극, 스퍼터링용 고전압 스위칭 DC 전원 공급 장치, 그리고 탄소 증발 및 열 증발용 고전류 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 이 장비는 마이크로 및 나노 전자공학, 시료 전처리 등 다양한 박막 응용 분야의 연구 및 다양한 박막 응용 분야에 매우 유용한 도구입니다.
Technical Specifications (기술 사양)
최대 진공도: 7 x10-7 torr 미만
더욱 미세한 입자 구조를 달성하기 위한 스퍼터링 속도의 정밀한 제어
압력에 관계없이 스퍼터링을 위한 자동 전력 제어
코팅 매개변수의 실시간 플로팅
코팅 매개변수 그래프를 기록하고 생성하는 기능
USB 포트를 통해 곡선 및 증착 공정 데이터를 PC로 편리하게 전송
전자 셔터 장착
170mm OD x 140mm 크기의 진공 챔버
적합한 전력: 220V-240V, 50/60HZ, 16A
배송 무게: 42kg
옵션 및 액세서리
데스크 스퍼터 코터(DSCT-T)는 기능을 향상시키기 위한 다양한 옵션과 액세서리를 제공합니다.
섬유 및 막대형 탄소용 탄소 증발 헤드
열 증발 헤드
고전류 전원 공급 장치
석영 수정 센서
행성 샘플 회전 시스템
예비 유리 챔버
스퍼터링 타겟
탄소섬유 또는 탄소봉 선택
씰링 개스킷
열 증발원(보트/바구니)
