High Vacuum Desk Sputter & Carbon Coater
고진공 데스크 스퍼터 및 카본 코터
고진공 데스크 스퍼터 & 카본 코터(DSCT)는 스퍼터 코팅과 카본 파이버 코팅 기능을 모두 갖추고 있으며, 교체 가능한 헤드를 갖춘 다재다능한 장비로 설계되었습니다. 주사전자현미경(SEM) 분석을 위한 시료 준비에 매우 적합합니다.
● 모델명 : DSCT
Applications (어플리케이션)
주사 전자 현미경 (SEM) – 고해상도 이미징을 위해 전도성 코팅을 한 비전도성 시편을 준비합니다.
전계 방출 SEM(FE-SEM) – 고급 고해상도 표면 분석에 필수적인 초미세하고 균일한 코팅을 생성합니다.
EDS/WDS 분석 – 정확한 원소 및 구성 연구에 이상적인 오염 없는 탄소 코팅을 적용합니다.
투과 전자 현미경 (TEM) – 시편 지지 그리드와 샘플 준비를 위한 얇고 균일한 탄소 필름을 생성합니다.
전자 후방 산란 회절(EBSD) – 회절 패턴 품질을 개선하는 안정적이고 전도성 있는 코팅을 제공합니다.
박막 연구 – 귀금속, 탄소, 심지어 텅스텐과 크롬과 같은 까다로운 타겟을 포함한 다양한 재료의 증착을 지원합니다.
다공성 및 취약한 샘플 – 섬세한 구조물을 보호하기 위해 옵션으로 제공되는 행성 회전 단계를 통해 균일한 코팅을 구현합니다.
학술 및 연구 실험실 – 다양한 듀얼 모드 시스템으로 교육, 훈련, 다중 응용 연구 용도에 적합합니다.
Features/Advantages (특징/장점)
하드웨어:
내장형 터보 펌프 90L/s(Leybold)를 사용한 고진공 레벨
2단 로터리 베인 백킹 펌프(다이어프램 및 스크롤 펌프)
80W 스퍼터링 스위칭 DC 전원 공급 장치
탄소섬유 증발 헤드
500W 고전류 탄소섬유 DC 전원 공급 장치
1nm의 정밀도와 1Å의 분해능을 갖춘 석영 수정 두께 모니터
풀 레인지 진공 게이지(Leybold)
자동 배기 밸브
샘플 회전, 높이 및 기울기 조절 가능
행성 샘플 홀더(선택 사항)
전자식 셔터
쉽게 교체 가능한 시편 스테이지(회전 스테이지가 기본 제공)
2 년 보증
CE 적합성
자동화 :
스퍼터링 반자동 제어
탄소코팅 반자동 제어
코팅 공정을 제어하고 데이터를 빠르게 입력할 수 있는 직관적인 터치 스크린
네트워크를 통해 업데이트 가능한 사용자 친화적 소프트웨어
자동 모드에서 반복 가능하고 프로그래밍 가능한 코팅 프로세스
펄스 또는 플래시 탄소 섬유 코팅 모드
수동 또는 자동 시간 및 두께 증착
플래시 또는 펄스 모드의 탄소 섬유 코팅
코팅 매개변수 그래프를 기록하고 플롯합니다.
반복 가능한 증착을 위한 코팅 레시피 저장
DSCT의 탄소 증발
소형 코팅 시스템인 DSCT 모델은 탄소 코팅을 통해 다양한 표면에 미세 입자를 가진 균일한 박막을 형성할 수 있습니다. 이는 탄소 섬유(또는 탄소 막대)를 사용하여 구현됩니다. 이 공정은 펄스 또는 플래시 모드로 작동하는 탄소 섬유에 전류를 흘려보내는 방식으로 진행됩니다. 이를 통해 탄소가 제어된 증발을 거쳐 샘플에 증착됩니다. 특히, 이 방법은 기존 탄소 증착 공정에서 흔히 발생하는 이물질 생성을 줄여줍니다.
펄스 탄소 섬유 증발
소형 챔버 데스크 진공 스퍼터와 탄소 코터는 펄스 탄소 섬유 증착을 수행하기 위해 장착되었습니다. 이 방법은 짧은 펄스를 사용하여 증착 공정을 더욱 정밀하게 제어하고 기존 탄소 증착 기술에서 일반적으로 발생하는 이물질 발생을 크게 줄입니다.
샘플 홀더 단계
DSCT는 사용자의 특정 요구에 맞춰 샘플 스테이지 구성을 유연하게 조절할 수 있습니다. 표준 샘플 스테이지는 높이와 각도를 조절할 수 있도록 회전 가능하도록 설계되어 사용 편의성과 다용성을 제공합니다. 다공성 시편의 균일한 코팅이 필요한 경우, 옵션으로 제공되는 회전형 행성 샘플 스테이지를 권장합니다.
다채로운 디스플레이를 갖춘 터치스크린 제어
데스크 SEM 코터(Desk SEM Coater)로 알려진 DSCT는 7인치 컬러 터치스크린을 통해 사용자 친화적인 인터페이스를 제공합니다. 이 인터페이스는 완전 자동 제어와 간편한 데이터 입력 기능을 제공하여 매우 간편하게 조작할 수 있습니다. 사용자는 진공, 전류, 증착과 같은 주요 매개변수를 디지털 데이터 또는 그래픽 곡선으로 터치스크린에 직접 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 최근 300회 코팅에 대한 정보를 이력 로그에 저장하며, 내장 USB 포트를 통해 PC로 편리하게 전송할 수 있습니다.
Theory/Method (이론/방법)
이 고진공 코팅기는 미세 입자 크기의 균일한 필름을 생성하는 데 탁월하여 FE-SEM, EDS/WDS, TEM, EBSD 등 고해상도 및 고품질 특성 분석이 요구되는 시편에 이상적입니다. 2인치 마그네트론 음극, 80W 스위칭 DC 전원 공급 장치, 그리고 탄소 증발용 고전류 전원 공급 장치를 갖춘 DSCT는 다양한 연구 및 박막 응용 분야에서 유용하게 활용됩니다.
또한, DSCT는 수냉식 캐소드를 선택적으로 구성하여 장시간 스퍼터링 증착에 더욱 적합하도록 할 수 있습니다. 또한, 크롬, 텅스텐 및 기타 산화 금속 타겟과 같은 재료의 스퍼터링을 용이하게 하기 위해 더 높은 전력 공급 장치를 장착할 수 있습니다.
Technical Specifications (기술 사양)
최대 진공도: 5 x 10^-6 Torr 미만
일반적으로 약 2nm의 금 입자 크기와 같은 더 미세한 입자 구조를 얻기 위해 스퍼터링 속도를 제어합니다.
압력에 관계없이 스퍼터링 파워를 자동으로 조절합니다.
정밀 질량 유량계(MFC)는 진공 압력을 정밀하게 제어하는 데 사용됩니다.
유틸리티: 220/110V, 50/60HZ, 10/15A
배송 무게 : 42kg
옵션 및 액세서리
탄소 막대 증발 헤드
탄소봉용 고전류 전원 공급 장치
석영 수정 센서
행성 샘플 회전 시스템
예비 유리 챔버
스퍼터링 타겟
탄소 섬유
씰링 개스킷
