Desk Sputter & Carbon Coater - DSCR-300

데스크 스퍼터 및 카본 코터 - DSCR-300

고진공 단일 마그네트론 타겟 데스크 스퍼터 코터 DST1-300은 반도체, 유전체, 그리고 산화성 및 비산화성 금속 모두에 코팅을 도포할 수 있는 다재다능한 코팅 시스템입니다. 짧은 사이클 시간 내에 미세 입자 크기의 균일한 박막을 생성하는 데 탁월합니다.

● 모델명 : DST1-300

Applications (어플리케이션)

데스크 카본 코터 DCR은 주사 전자 현미경(SEM), 투과 전자 현미경(TEM) 및 X선 분석(EDX)에 사용하기 위한 샘플 준비에 적합한 소형 탄소 섬유 코팅 시스템입니다.

이 장치는 두 가지 형식으로 제공됩니다.

• DCR은 SEM 샘플 준비, EDS/WDS 및 박막 응용 분야에 적합한 회전식 펌프식 탄소 코팅기입니다.

• DCT는 FE-SEM, EDS/WDS, TEM, EBSD 및 박막 응용 분야에 이상적인 터보 펌프식 탄소 코팅기입니다. 이 고진공 코팅기는 미세 입자 크기의 고품질 균일 탄소 필름을 생성하여 고해상도 및 고품질 특성 분석이 필요한 시편에 적합합니다.
   

Features/Advantages (특징/장점)

• 고진공 터보분자 펌프 

• 백업 펌프로서의 2단 로터리 베인 펌프

• 풀 레인지 진공 게이지(Leybold)

• 고정밀 석영 수정 두께 모니터

• 600W 정격 DC 전원 공급 장치

• 간편한 코팅 공정 제어 및 빠른 데이터 입력을 위한 직관적인 터치스크린 인터페이스

• 네트워크 업데이트 기능이 있는 사용자 친화적인 소프트웨어

• 더 미세한 입자 구조를 달성하기 위해 코팅 속도를 조절하는 제어 기능

• 수동 및 자동 타이밍 및 두께 스퍼터링 옵션을 제공합니다.

• GLAD(Glancing Angle Deposition) 스퍼터링 기능

• 플라즈마 세척 기능

• 코팅 매개변수 그래프를 기록하고 표시하는 기능

• 전자 셔터 장착

• 회전 스테이지가 표준으로 포함되어 있어 쉽게 교체 가능한 표본 스테이지

• 2년 보증이 제공됩니다

• Vac Coat 제품은 공공 보험과 제품 책임 보험으로 전 세계적으로 보장되며, Vac Coat 시스템으로 인해 재산 피해나 개인 상해가 발생할 경우 보호를 보장합니다.

다채로운 디스플레이를 갖춘 터치스크린 제어

DST1-300은 완전 자동 제어 및 데이터 입력 기능을 갖춘 사용자 친화적인 7인치 컬러 터치스크린 인터페이스를 갖추고 있어 경험이 없는 사용자도 쉽게 사용할 수 있습니다. 이 터치스크린을 통해 사용자는 시스템을 쉽게 조작하고 진공 레벨, 전류 값, 증착 정보를 디지털 데이터 또는 그래픽 곡선 형태로 확인할 수 있습니다.

또한, 이 시스템은 최근 300개 코팅에 대한 정보를 저장할 수 있는 기능을 갖추고 있으며, 참고를 위해 기록 페이지에서 편리하게 접근할 수 있습니다.


깨끗한 진공

진공 챔버는 원통형 파이렉스 재질로 제작되었으며, 외경(OD)은 300mm, 높이(H)는 200mm입니다. DST1-300에는 내부에 장착된 90 l/s 터보 분자 펌프가 장착되어 있으며, 이 펌프는 2단 회전 펌프의 지원을 받습니다. 이러한 구성은 일반 확산 펌프에서 흔히 발생하는 오일 오염이 없는 깨끗한 진공 환경을 보장합니다.

Theory/Method (이론/방법)

DST1-300의 넓은 챔버는 2, 3, 4인치 마그네트론과 수냉식 캐소드가 장착되어 있으며, 최대 직경 15cm의 대형 시편이나 이와 유사한 직경의 여러 개의 소형 시편을 코팅하는 데 적합합니다. 스퍼터링 시간이 무제한이므로 두꺼운 층을 증착하는 데 이상적입니다.

600W DC 전원 공급 장치와 자동 매칭 박스가 있는 300W RF 전원 공급 장치(옵션)를 갖춘 이 단일 타겟 코터는 뛰어난 유연성을 제공합니다. 고진공 시스템을 통해 다양한 표면에 광범위한 재료를 증착할 수 있어 마이크로 및 나노전자공학, SEM 샘플 준비를 포함한 박막 응용 분야에 적합합니다.

마그네트론 스퍼터 코터 모델 DST1-300은 반도체, 유전체, 그리고 산화성 및 비산화성 금속 모두에 코팅을 도포할 수 있는 다재다능한 코팅 시스템입니다. 미세 입자 크기의 균일한 박막을 빠르게 생성하는 데 탁월합니다.

2, 3 또는 4인치 마그네트론 옵션과 수냉식 음극을 갖춘 넓은 DST1-300 챔버는 최대 직경 15cm의 대형 시편이나 비슷한 크기의 여러 개의 작은 시편을 코팅하는 데 이상적입니다.

무제한 스퍼터링 시간으로 두꺼운 막 증착에 적합합니다. 싱글 타겟 코터에는 600W DC 전원 공급 장치가 기본으로 장착되어 있으며, 유연성을 높이기 위해 자동 매칭 박스가 있는 300W RF 전원 공급 장치를 옵션으로 제공합니다.

고진공 시스템은 다양한 표면에 광범위한 재료를 증착할 수 있어 마이크로 및 나노 전자공학과 같은 박막 응용 분야와 SEM 샘플 준비에 적합합니다.

Technical Specifications (기술 사양)

이 시스템은 다음을 포함한 다양한 응용 분야에 적합합니다.

- 금속, 반도체, 유전체 박막 증착

- 나노 및 마이크로 전자 응용 분야

- 태양 전지 제조

- 광학 부품의 코팅

- 박막 센서 개발

- 자기 박막 소자 생산

- 컴퓨터 메모리의 응용 프로그램

- SEM 및 FE-SEM 샘플 준비를 위한 미세 입자 구조 증착 달성

다양한 산업과 연구 분야에 걸쳐 다양성을 제공합니다.

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옵션 및 액세서리

• 기판 바이어스 전압

• RF 생성기 및 자동 매칭 박스

• 기판 히터(최대 500°C)

• 석영 수정 센서

• 예비 진공 원통형 유리 챔버

• 단일 소스를 갖춘 열 증발 시스템

• 스퍼터링 타겟

• 씰링 개스킷