Desk Sputter & Carbon Coater - DSCR
데스크 스퍼터 및 카본 코터 - DSCR
데스크 스퍼터 & 카본 코터(DSCR)는 스퍼터링과 카본 코팅 기능을 모두 갖춘 소형 코팅 시스템입니다. 이 다재다능한 시스템은 금(Au), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 금/팔라듐(Au/Pd)과 같은 귀금속을 비전도성 또는 저전도성 시편에 스퍼터링할 수 있으며, 탄소 필름을 시편에 도포할 수도 있습니다.
● 모델명 : DSCR
Applications (어플리케이션)
데스크 스퍼터 코터 모델 DSCR은 주사전자현미경(SEM)용 시료 전처리 시스템으로 특별히 설계되었습니다. 50mTorr 미만의 진공도를 달성할 수 있는 회전 펌프가 장착되어 있습니다. 이 진공 범위는 귀금속 스퍼터 코팅 및 탄소 섬유 증착 코팅에 매우 적합합니다.
산화 금속을 포함하는 스퍼터링 증착, FE-SEM(전계 방출 SEM), SEM EDX(에너지 분산 X선 분광법) 및 투과 전자 현미경(TEM)과 관련된 응용 분야의 경우, 이러한 특정 목적에 더 적합한 DST1, DSCT, DCT와 같은 다른 모델을 고려하는 것이 좋습니다.
Features/Advantages (특징/장점)
간편한 작동
코팅 공정의 원활한 제어와 빠른 데이터 입력을 위한 직관적인 터치스크린
전자동 및 반자동 제어를 모두 가능하게 하는 사용자 친화적 소프트웨어
시료의 간편한 적재 및 하역
반복성을 위한 일관된 필름 두께 증착
정확하고 재현 가능한 코팅
고해상도 미세 코팅(금 입자의 경우 2nm 정도)이 가능합니다.
저전압 스퍼터링
GLAD(Glancing Angle Deposition) 스퍼터링
플라즈마 청소
냉각 시스템이 필요하지 않습니다
플래시 및 펄스 모드 모두에서 사용 가능한 탄소 코팅
더 두꺼운 층 증착을 위한 듀얼 탄소 섬유
안심을 위한 2년 보증이 적용됩니다.
CE 적합성은 안전 표준 준수를 보장합니다.
Vac Coat 시스템으로 인해 재산 피해나 개인 상해가 발생한 경우 보호를 제공하는 공공 및 제품 책임 보험에 대한 전 세계적 보장입니다.
펄스 탄소 섬유 증발
데스크 진공 스퍼터 및 탄소 코팅기의 소형 챔버는 펄스 탄소 섬유 증착을 수행할 수 있습니다. 이 방법은 더욱 정밀하고 제어된 증착을 위해 짧은 펄스를 사용하며, 기존 탄소 증착 공정에서 일반적으로 발생하는 잔해의 양을 효과적으로 줄입니다.
카본 코팅 헤드
DSCR에는 탄소 코팅용으로 설계된 교체 가능한 헤드가 장착되어 있습니다. 직경 0.8mm의 탄소 섬유 두 개를 장착할 수 있는 독보적인 기능을 통해 필요 시 또는 특정 용도에 따라 더 두꺼운 탄소 필름을 증착할 수 있습니다. 
다채로운 디스플레이를 갖춘 터치스크린 제어
DSCR(Desk SEM Coater)은 완벽한 자동 제어 및 데이터 입력 기능을 제공하는 7인치 컬러 터치스크린을 갖추고 있습니다. 이 사용자 친화적인 인터페이스는 경험이 부족한 사용자도 쉽게 조작할 수 있도록 설계되었습니다. 사용자는 진공 레벨, 현재 측정값, 증착 정보를 편리하게 모니터링할 수 있으며, 이러한 정보는 터치스크린에 디지털 데이터 또는 그래픽 곡선 형태로 직접 표시됩니다. 또한, 이 시스템은 최근 300회 코팅 관련 정보를 저장할 수 있어, 이력 페이지를 통해 쉽게 참조할 수 있습니다.
샘플 단계
DSCR은 다양한 사용자 요구 사항에 맞춰 다양한 샘플 스테이지 구성을 제공합니다. 이 샘플 스테이지는 회전 가능하고 높이 조절이 가능하며, 쉽게 교체할 수 있습니다. 특히, 회전식 행성 샘플 스테이지는 특히 다공성 시료를 다룰 때 균일한 코팅을 구현하는 데 탁월한 선택입니다.
Theory/Method (이론/방법)
데스크 스퍼터 및 카본 코터는 회전 펌프가 장착되어 있으며, 교체 가능한 헤드를 사용하여 DC 스퍼터링 및 탄소 섬유 코팅(나사산)용으로 구성할 수 있으며, 이 모든 기능을 하나의 장비 내에서 모두 제공합니다. DSCR은 주사 전자 현미경(SEM)용 시료를 준비하도록 설계된 적응형 장비입니다.
주사 전자 현미경을 사용하여 비전도성 또는 전도성이 낮은 시편을 관찰하려면 SEM 현미경 검사 전 시편 준비 단계에서 표면 전도도를 높여야 합니다.
스퍼터링 증착과 탄소 증발은 전자 현미경에서 시료 전처리를 위한 표준 방법입니다. 완전 자동화 옵션을 통해 경험이 부족한 작업자라도 시스템을 쉽게 사용할 수 있습니다. 그래픽 인터페이스를 갖춘 사용자 친화적인 소프트웨어는 증착 정보의 이해를 용이하게 하여 시스템의 전반적인 사용성을 향상시킵니다.
Technical Specifications (기술 사양)
4m3/h의 펌핑 용량을 갖춘 2단계 직접 구동 로터리 베인 펌프
파이렉스 재질의 진공 챔버, 외경(OD) 170mm x 140mm
전체 치수: 45cm(높이) x 50cm(너비) x 37cm(깊이)
2인치 마그네트론 음극 장착
최대 진공도: 50밀리토르 미만
행성 회전 기능이 있는 샘플 스테이지
열전대 진공 게이지 포함
1나노미터 정밀도의 석영 수정 두께 모니터
코팅 공정의 정밀한 제어를 위한 전기 제어 셔터
작동 편의성을 위한 자동 배기 밸브
최근 300회 코팅 작업 데이터를 저장하는 기능
전원 요구 사항: 220V-240V, 50/60Hz, 10A
80와트 DC 스위칭 전원 공급 장치
USB 포트를 통한 PC로의 데이터 전송 기능
배송 무게: 42kg
옵션 및 액세서리:
탄소 막대 증발 헤드
탄소봉에 맞게 설계된 고전류 전원 공급 장치
석영 수정 센서
행성 샘플 회전 기능
예비 유리 진공 챔버
스퍼터링 타겟
코팅용 탄소섬유
씰링 개스킷
