High Vacuum, Single Magnetron Target Desk Sputter Coater DST1-170
고진공, 단일 마그네트론 타겟 데스크 스퍼터 코터 DST1-170
고진공 단일 마그네트론 타겟 데스크 스퍼터 코터 DST1-170은 주사전자현미경(SEM) 시료 전처리용으로 특별히 설계된 데스크 스퍼터 코터입니다. DST1-170은 다재다능하여 금(Au), 백금/팔라듐(Pt/Pd) 합금, 은(Ag), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 이리듐(Ir) 등 다양한 소재를 증착할 수 있습니다.
DST1-170은 미세 입자 크기의 고품질 균일 필름을 생성하는 데 탁월합니다. 이 필름은 FE-SEM, EDS/WDS, TEM, EBSD 응용 분야와 같이 고해상도 및 고품질 특성 분석이 요구되는 시편에 이상적입니다. 2인치 마그네트론 음극과 80와트 스위칭 DC 전원 공급 장치를 갖춘 DST1-170은 다양한 연구 및 박막 응용 분야에 적합합니다.
● 모델명 : DST1-170
Applications (어플리케이션)
SEM 및 FE-SEM 샘플 준비를 위한 미세 입자 구조 증착 달성
나노 및 마이크로 전자 응용 분야
태양전지 제조
광학 부품의 코팅
박막 센서 개발
Features/Advantages (특징/장점)
90L/S 용량의 고진공 터보분자 펌프(Leybold)
백업 펌프 역할을 하는 2단계 회전 베인 진공 펌프
풀 레인지 진공 게이지(Leybold)
ISO-KF 63 버터플라이 밸브
80와트 정격 DC 전원 공급 장치
1나노미터 정밀도와 1옹스트롬의 분해능을 갖춘 석영 수정 두께 모니터
간편한 코팅 공정 제어 및 빠른 데이터 입력을 위한 직관적인 터치스크린 인터페이스
네트워크 업데이트 기능이 있는 사용자 친화적인 소프트웨어
더 미세한 입자 구조를 달성하기 위해 코팅 속도를 조절하는 제어 기능
수동 및 자동 타이밍 및 두께 스퍼터링 옵션을 제공합니다.
GLAD(Glancing Angle Deposition) 스퍼터링 기능
플라즈마 세척 기능
코팅 매개변수 그래프를 기록하고 표시하는 기능
전자 셔터 장착
회전 스테이지가 표준으로 포함되어 있어 쉽게 교체 가능한 표본 스테이지
2년 보증이 제공됩니다
Vac Coat 제품은 공공 보험과 제품 책임 보험으로 전 세계적으로 보장되며, Vac Coat 시스템으로 인해 재산 피해나 개인 상해가 발생할 경우 보호를 보장합니다.
데스크 스퍼터 코터의 진공 청소
진공 챔버는 원통형 파이렉스 재질로 제작되었습니다. DST1-170에는 내부에 장착된 90L/s 터보 분자 펌프가 장착되어 있으며, 이 펌프는 4m³/h 용량의 2단 로터리 베인 펌프의 지원을 받습니다. 이러한 구성은 표준 확산 펌프에서 일반적으로 발생하는 오일 오염이 없는 깨끗한 진공 환경을 보장합니다. 
터치 스크린 제어
DST1-170은 완전 자동 제어 및 사용자 친화적인 데이터 입력 기능을 갖춘 7인치 컬러 터치스크린 인터페이스를 갖추고 있어 경험이 없는 사용자도 쉽게 사용할 수 있습니다. 사용자는 터치스크린을 통해 시스템을 쉽게 조작할 수 있으며, 진공 레벨, 전류 및 증착 정보를 디지털 데이터 또는 곡선으로 확인할 수 있습니다. 또한, 시스템은 최근 300회 코팅에 대한 정보를 저장할 수 있으며, 이 정보는 히스토리 페이지에서 확인할 수 있습니다.
Technical Specifications (기술 사양)
최대 진공도: 7 x 10^-7 Torr 미만
더 미세한 입자 구조를 달성하기 위한 스퍼터링 속도의 정밀한 제어
압력에 관계없이 스퍼터링의 독립적인 전력 제어
아르곤 가스용 전자식 누출 밸브
코팅 매개변수 그래프를 기록하고 플로팅하는 기능
USB 포트를 통해 곡선 및 증착 공정 데이터를 PC로 편리하게 전송
전원 요구 사항: 220V-240V, 50/60Hz, 16A
배송 무게: 36kg
옵션 및 액세서리:
석영 크리스탈
행성 샘플 회전
예비 유리 챔버
스퍼터링 타겟
씰링 개스킷
