Plasma Asher Descum Equipment AW-1008 (플라즈마 애셔 데스컴 장비 AW-1008)


제조사: Allwin21

상태: 새 제품

웨이퍼 크기: 3인치 ~ 6인치 지원

웨이퍼 로딩: 3축 로봇을 이용한 웨이퍼 이송 ( 영상 )

플라즈마 전력: 마이크로파

유형: 병렬/단일 웨이퍼 공정; 독립형

가스 배관 : 1~4개 배관

무료 빠른 견적 : 링크

다운로드: AW-1008R (PDF)

● 모델명 : AW-1008

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Features (특징)

• III-V 생산을 염두에 두고 설계되었습니다.

• 터치스크린 GUI와 펜티엄Ⓡ급 PC를 탑재한 컨트롤러.

• Allwin21 고급 제어 소프트웨어는 PSUM 기술을 통해 잘못된 처리를 방지합니다 .

• 3축 웨이퍼 이송 로봇( 영상 ) 이 설치되었습니다.

• 웨이퍼 파손과 잦은 경보/오류로 악명 높은 Gasonics Aura 1000 설계보다 훨씬 뛰어납니다.

• 처리량 증가

• 웨이퍼 파손을 방지하기 위해 수신 카세트 스테이션을 냉각/정렬 스테이션으로 교체할 수 있습니다.

• 단종된 부품 없음 .

• 폐쇄 루프 온도 제어(CLTC)는 당사의 독자적인 RTP 기술을 사용하여 웨이퍼를 최대 350°C(± 2~5°C)까지 가열하는 온도 제어를 통해 공정 반복성을 향상시킵니다 .

• 1kW 램프 3개를 사용하여 균일성을 향상시켰습니다 .

• 하드웨어 변경 없이 서로 다른 두 가지 웨이퍼 크기를 실행할 수 있는 옵션입니다.

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Specifications (명세) 

• 하류 플라즈마. 0.1V 미만의 CV 변위. 제품에 전기적 손상 없음 .

• 전면 및 후면 등방성 포토레지스트 제거.

• 벌크 재/스트립 비율:

  • 양성 감광제 = 2µ – 5µ /분

  • 네거티브 포토레지스트 = >8µ/분

• 1000W 전자레인지 출력 (가변 전자레인지 출력 옵션 사용 시 1.25kW)

• 공간을 적게 차지합니다. 가로 32인치 x 세로 32인치 x 높이 64인치

• 75mm ~ 150mm 웨이퍼 처리 가능.

• 최대 4개의 MFC.

• 프로세스 종료(EOP) 프로세스 엔드포인트 감지.

• 압력 조절.

• GEM/SECSII (옵션).

• 바닥 설치형 또는 벽 관통형 디자인.

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Typical Recipe Parameters (일반적인 레시피 매개변수)

• 압력 = 1.75~2.5 Torr

• 전자레인지 = 1000W

• 가스 흐름:

  • 02 4.5 SLPM

  • N2 0.5 SLPM

• 가변 램프 작동 시간 = 0~9999초 (AW SW)

• 온도 조절 범위: 150°C ~ 350°C

Facilities (시설)

• 진공 챔버 펌프 = 165 cfm

• 캐비닛 배기량 = >250 cfm

• 배관식 가스:

  • 산소

  • N2

  • 금속 웨이퍼용 성형 가스 (선택 사항)

  • Ar – 금속 웨이퍼 표면 세척용. (선택 사항)

• 전기 사양: 208VAC, 3상, 60Hz, 30A

• "가변 메가와트(MW) 전력 제어" 옵션이 설치된 경우에만 수냉식 냉각이 가능합니다.

• 무게 = 350파운드

Video (영상)