Plasma Asher Descum Equipment AW-B3000 (플라즈마 애셔 데스컴 장비 AW-B3000)


제조사: Allwin21 Corp.

상태: 새 제품

웨이퍼 크기: 소형(~8인치) 웨이퍼

웨이퍼 로딩: 수동

플라즈마 전력: 새로운 공랭식 RF 13.56MHz

유형: 배럴/배치형, 데스크탑형 또는 독립형

가스 배관: 1~3개 배관

크기: 너비 27.25인치, 깊이 33인치, 높이 24.75인치 (본체 기준)

주요 고객: 링크

무료 빠른 견적: 링크

다운로드: AW-B3000 (PDF)

​

AW -B3000 배치형 배럴 포토레지스트 애셔는 대량 웨이퍼 제조를 위한 유연한 13.56MHz RF 플라즈마 포토레지스트 제거 시스템으로 설계된 수동 로딩 방식의 장비입니다. AW-B3000은 가동 시간, 신뢰성, 생산 검증된 기술 및 낮은 총소유비용에 대한 제조업체의 요구 사항을 직접적으로 반영하여 개발되었습니다.

​

● 모델명 : AW-B3000

​

Key Features (주요 특징)

• 2인치에서 8인치 사이의 기질.

• 최대 3개의 가스 라인과 3개의 MFC(맞춤형)

• 터치스크린이 탑재된 새 컴퓨터 한 대.

• 새 컨트롤러 박스 1개

• 키보드와 마우스가 포함된 새 터치스크린 모니터 1대.

• 최대 1200W 출력의 13.56MHz ENI RF 발생기 또는 동등 제품 1개

• Allwin21 Corp의 새로운 독자적인 AW 소프트웨어(PC 제어 기능 포함)가 Branson/IPC 3000/2000에 적용되었습니다.

• 압력 측정용 바라트론 게이지를 사용하여 압력을 측정하고 공정의 반복성을 유지합니다.

• 압력 조절용 스로틀 밸브를 사용하여 공정의 반복성을 유지합니다.

​

Software (소프트웨어)
​

• 유지보수, 수동, 반자동 및 완전 자동 작동 모드

• 모든 하위 시스템의 자동 교정

• 하위 어셈블리 수준까지의 문제 해결

• 종합적인 교정 및 진단 기능이 프로그램에 포함되어 있습니다.

• 완전 자동 웨이퍼 가공을 위한 레시피 생성

• 부적절한 레시피 및 공정 데이터의 자동 거부

• 다단계 비밀번호 보호

• 여러 레시피 및 시스템 기능 저장

• 실시간 공정 데이터 수집, 표시, 분석

• 실시간 그래픽 사용자 인터페이스(GUI)

• 프로세스 데이터 및 레시피는 하드 드라이브에 저장됩니다.

• GEM/SEC II 기능(선택 사항)

• 기존의 구형 RF 발생기 대신 ENI RF 발생기를 사용합니다.

• 기존 컨트롤러 대신 새 컨트롤러 박스가 제공됩니다.

Options (옵션)

• 프로세스 종료(EOP) 감지:

  • 웨이퍼의 수량이나 포토레지스트 두께에 관계없이 모든 웨이퍼가 완전히 제거되면 자동으로 공정을 중지합니다.

• 챔버 예열:

  • Allwin21 AW-B3000 컨트롤러는 챔버 내부에 있는 피복된 열전대(TC)의 온도를 이용하여 N2 플라즈마로 기판을 예열함으로써 회분 생성 속도를 증가시킵니다.

​

Video (영상)