AccuSputter AW4450 (스퍼터 증착 장비 AW4450)


제조사: Allwin21 Corp.

상태: 새 제품

웨이퍼 크기: 소형 (~8인치)

웨이퍼 로딩: 수동, 로드록 기능 포함

음극: 델타 형 1~3개 또는 8 인치 원형 1~4개

스퍼터링 방식: RF(RG VII: 공랭식 300W, 600W, 1000W, 2000W, 3000W)/ DC(Advanced Energy PNC3 6K, PNC3 10K)/ 펄스 DC(Advanced Energy PNC3 PLUS+ 5K, PNC3 PLUS+ 10K); 다이오드/마그네트론

가스 라인: 1~3개의 MFC

테이블 회전/리프트 서브시스템: 피드스루 어셈블리(옵션)

주요 고객: 링크

무료 빠른 견적: 링크

다운로드: AccuSputter AW-4450 (PDF)

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III-V계 합금에 대해 검증된 AccuSputter® AW4450 시리즈 생산용 스퍼터링 시스템은 수동 로딩 방식부터 완전 자동(비PLC) 작동까지 가능한 구성으로 제조됩니다. AccuSputter® ^{AW4450 스퍼터링} 헤드는 Delta ^™ 캐소드 3개 또는 8인치 원형 캐소드 4개를 장착할 수 있습니다.

AccuSputter® ^AW4450 시리즈 생산용 스퍼터링 시스템은 세라믹, 금속, 플라스틱, 유리, 반도체 등 다양한 소재를 기판에 증착할 수 있습니다. 또한, 스퍼터링 증착 전에 기판에서 소재를 제거하는 RF 스퍼터 에칭 공정에도 사용할 수 있습니다. 이 스퍼터링 시스템은 단일 기판에 최대 3~4가지 소재의 박막을 순차적으로 증착하여 다층 광학 간섭 필터 또는 반도체 소자와 같은 샌드위치 구조의 박막을 구현할 수 있습니다. 증착된 박막의 두께는 수 옹스트롬에서 수 마이크론에 이릅니다.

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● 모델명 : AW4450

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Key Feature (주요 특징)

• III-V 기판에 대해 검증된 공정

• PLC 미지원 (작은 설치 공간 / 손쉬운 유지보수)

• 20년 이상 검증된 스퍼터링 기술

• 새로운 최적화된 AW-4450 시스템 제어

• 테이블 회전/리프트 서브시스템: 피드스루 어셈블리

• 모터, 액추에이터, 릴레이, 솔레노이드용 DC 24V

• 효율적인 8인치, 델타 캐소드, 2~6인치 옵션

• 높은 처리량 작동

• 높은 균일성과 수율

• DC, RF 스퍼터링, 펄스 DC 옵션

• 마그네트론 및 다이오드 스퍼터링 옵션

• RF 에칭 및 바이어스는 선택 사항입니다.

• 울트라 클린 진공 시스템

• 로드록 작동

• UHV 설계

• 개발 또는 생산 용도에 유연하게 사용할 수 있습니다.

• 다양한 크기와 모양의 기판

• 다양한 펌핑 및 동력 옵션

• 공동 스퍼터링 옵션

• 반응성 스퍼터링 옵션

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System Controller (구성)

• 유지보수, 수동, 반자동 및 완전 자동 작동 모드

• 모든 하위 시스템의 자동 교정

• 하위 어셈블리 수준까지 문제 해결

• 종합적인 교정 및 진단 기능이 프로그램에 포함되어 있습니다.

• 완전 자동 웨이퍼 가공을 위한 레시피 생성

• 부적절한 레시피 및 공정 데이터의 자동 거부

• 다단계 암호 보호

• 여러 레시피 및 시스템 기능 저장

• 실시간 공정 데이터 수집, 표시, 분석

• 실시간 그래픽 사용 디스플레이

• 프로세스 데이터 및 레시피는 하드 드라이브에 저장됩니다.

• Easy TC 진공 게이지 교정

• 위치 지정 증착(선택 사항)

• GEM/SEC II 기능(선택 사항)

Process & Applications (프로세스 및 어플리케이션) 

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Video (영상)