오토글로우 1000 생산 플라즈마 클리너

생산 플라즈마 클리너 – AutoGlow 1000은 표면 변형, 포토레지스트 제거, 플라즈마 데스컴, 접합 전 처리, 산화물 에칭, 질화물 에칭, 폴리머 에칭 및 일반 플라즈마 세척에 사용됩니다. 챔버는 두꺼운 알루미늄으로 만들어졌으며, 내부 휘어짐을 방지하기 위해 모든 면이 보강되어 있습니다. RF 발생기, MFC, 바라트론 및 모든 내부 전자장치는 수리 편리함을 위해 쉽게 접근할 수 있습니다. 챔버에는 여러 종류의 캐리어, 샘플(매거진, 웨이퍼 또는 트레이 등)을 수용할 수 있도록 여러 개의 탈착 및 조절 가능한 선반이 있습니다. 세 쌍의 선반을 사용한 광서방지 제거 테스트에서는 균일성이 8% 미만으로 나타났습니다. 반응성 이온 에칭, 플라즈마 처리, 하위 플라즈마 처리 등 다양한 플라즈마 조건에 맞게 여러 전극 선반을 배치할 수 있습니다. AutoGlow 1000은 300mm 웨이퍼를 처리할 수 있습니다.

발표 원하시면 Glow Research에 연락하세요.

• 30에서 600와트(13.56 MHz), 30와트는 부드러운 처리를 위해 사용되며, 더 공격적인 용도에는 고전력입니다.

• 13.56 MHz (고주파) 자동 튠 기능

• 전력 1와트 단위로 설정할 수 있으며, RF 발전기와 매치 네트워크가 이를 위해 조정되어 있습니다

• Glow Research는 전체 시스템(RF 발생기, RF 튜닝 네트워크, 소프트웨어 제어 시스템, 챔버 및 가스 공급 시스템)을 만듭니다.

• 자동 튜닝—매우 빠르고 반사 전력이 매우 낮은—매우 잘 설계된 튜닝 네트워크

• 가스 흐름과 독립적으로 챔버 압력을 제어하는 스로틀 밸브

• 진단, 잠금 해제, 고급 제어 기능을 갖춘 제네시스 소프트웨어

• 최대 4개의 질량 흐름 제어기 선택

• 서비스 편의성을 위해 설계되었으며, RF 발전기와 전자/가스 분배 모듈은 앞쪽에서 미끄러져 나갑니다

• CE 인증 및 인증​

터치스크린이 탑재된 제네시스 소프트웨어 제어 시스템은 AutoGlow 1000에 사용되었습니다. 우리는 March PX-1000, PX-250, PX-500 같은 구형 플라즈마 시스템을 기존 소프트웨어 제어 시스템으로 교체하여 업그레이드합니다. 이로 인해 기존 시스템에 새로운 생명을 불어넣고, Glow Research가 앞으로도 이 시스템들을 제대로 지원할 수 있게 됩니다. 고객들은 챔버 압력과 독립적으로 공정 가스 흐름을 제어할 수 있는 스로틀 밸브 추가와 같은 업그레이드를 높이 평가합니다. 이 업그레이드에 대한 자세한 정보는 여기를 클릭하세요.

Genesis 소프트웨어 제어 시스템(AutoGlow 1000 및 이전 플라즈마 시스템용)은 다음과 같은 기능을 갖추고 있습니다:

• 시스템 전처리 셀프 체크(소프트웨어가 MFC와 압력을 점검함)

• 여러 단계(최대 10단계)의 레시피를 가질 수 있으며, 매우 쉽게 설정할 수 있습니다

• 소프트웨어는 가스 안정화 시간을 조절할 수 있으며, MFC 선형성을 확인해 줍니다

• 데이터 로깅, 기록 저장/다운로드 기능

• 공정 중 RF 켜/꺼짐 시간을 모니터링하고 공정 중 압력 곡선을 확인할 수 있습니다

• 이 소프트웨어는 고객 매장에서 2년 이상 운영 중입니다

• 시스템에는 버터플라이 스로틀 밸브가 있어 챔버 압력과 독립적으로 공정 가스 흐름을 제어할 수 있습니다