** Compact Desktop Deposition System **
- HEX Mini -
* HEX Mini는 컴팩트한 엔트리 레벨 PVD (Physical Vapour Deposition) 시스템.
* 박막(thin film) 증착을 위한 장비로, 다음과 같은 용도에 사용됨.
- Optical coatings
- SEM / TEM 샘플 준비
- Electrical contact 형성
* 플러그 앤 플레이 방식의 증착 시스템으로 빠른 설치 가능함.
* 재료과학, 물리학, 현미경 연구 분야에서 컴팩트하며 사용하기 쉽게 고품질 코팅을 구현할 수 있도록 설계.
* 성능을 저하시키지 않으면서 작은 설치 공간에서 사용 가능함.
System Configuration
* 벤치탑 HEX Mini는 다음 두 가지 방식 중 하나로 구성 가능함.
- 2″ DC Sputtering Source
- Thermal Evaporation Source
* 증착 방식 선택은 다음 요소에 따라 결정됨.
- 사용 재료
- 원하는 증착 수율
- 박막 균일도
- 샘플 민감도
응용분야
* HEX Mini는 다음과 같은 분야에 사용됨.
* SEM Sample Preparation (Sputtering & Carbon Evaporation)
* TEM Sample Preparation (Carbon Evaporation)
* X-Ray Microanalysis Sample Preparation
* High Resolution Sample Preparation
* Semiconductor Research
* Geology
* Forensics
* Material Science
* Medicine
* Life Science
