*** 탁상용 스퍼터 코터 (Desk Sputter Coater) ***
■ 모델명 : DSR1
■ 개요
Desk Sputter Coater인 DSR1은 금(Au), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 금/팔라듐(Au/Pd)과 같은 금속 박막을 비전도성 또는 저전도성 시편에 증착할 수 있는 소형 코팅 시스템입니다. 빠른 공정 시간 내에 미세한 입자 크기를 가진 균일한 박막을 생성하는 데 탁월합니다. 이렇게 제작된 박막은 주사전자현미경(SEM) 분석에 이상적입니다. 데스크 마그네트론 코터는 완전 자동화 시스템 내에서 일관되고 재현성 높은 결과를 보장하는 고효율 장비입니다. 인체공학적 설계와 컴팩트한 크기로 사용이 간편하고 효율적입니다.
■ 응용 분야
1. 재료과학 연구 – 고분자, 세라믹, 복합재료의 구조 및 표면 분석을 위해 균일한 귀금속 박막 증착을 가능하게 합니다. 2. 나노기술 – 나노 규모 특성 분석을 위해 얇고 균일한 코팅으로 시료를 준비합니다. 3. 플라즈마 세척 응용 분야 – 표면 오염 물질을 제거하여 코팅 접착력과 분석 정확도를 향상시킵니다. 4. 품질 관리 및 산업 연구 개발 – 제조 및 제품 테스트 응용 분야에서 재현 가능한 박막 코팅을 보장합니다. 5. 생명과학 및 생물학 연구 – SEM 관찰시 대비 및 안정성의 향상을 위해 생물학적 시료를 코팅합니다. 6. 주사전자현미경(SEM) – 비전도성 시료에 미세한 전도성 코팅을 형성하여 대전 현상을 제거하고 이미지 품질을 향상시킵니다. 7. 교육 및 훈련 실험실 – 학술환경에서 신뢰할 수 있고 사용이 쉬운 SEM 시료준비 플랫폼을 제공합니다.
■ Features
1. 4m³/h 용량의 2단 직구동 로터리 베인 펌프
2. 고정밀 석영 결정 두께 모니터
3. 직관적인 터치스크린 인터페이스로 간편한 코팅 공정 제어 및 빠른 데이터 입력 가능
4. 네트워크 업데이트 기능을 갖춘 사용자 친화적인 소프트웨어
5. 미세한 입자 구조 구현을 위한 정밀한 코팅 속도 제어
6. 수동 또는 자동 시간 및 두께 스퍼터링 옵션
7. GLAD 스퍼터링 기능
8. 플라즈마 클리닝 기능
9. 교체 가능한 시편 스테이지 (행성 회전 또는 회전 스테이지 기본 제공)
10. CE 인증으로 안전 기준 준수
[Touch Screen Control with Colorful Display]
데스크 스퍼터 코터는 완전 자동 제어 및 사용자 친화적인 데이터 입력 기능을 갖춘
7인치 컬러 터치스크린 인터페이스를 탑재하여 경험이 부족한 사용자도 쉽게 사용할 수 있습니다.
사용자는 터치스크린을 통해 시스템을 간편하게 조작할 수 있으며, 진공 레벨, 전류 및 증착 정보를
디지털 데이터 또는 곡선으로 표시할 수 있습니다. 또한, 시스템은 최근 300건의 코팅 정보를
저장할 수 있으며, 이 정보는 기록 페이지에서 참조할 수 있습니다.
[Sample Holder]
DSR1은 사용자의 요구 사항에 맞춰 다양한 시료 스테이지 구성을 제공합니다.
표준 시료 스테이지는 회전 가능하며 높이와 각도 조절이 가능하여 손쉽게 맞춤 설정할 수 있습니다.
다공성 시료에 균일한 코팅을 얻으려면 회전식 행성형 시료 스테이지를 사용하는 것이 좋습니다.
■ Technical specification
1. Chamber dimensions: 170 mm outer diameter (OD) x 140 mm Pyrex cylinder
2. High-precision thickness monitor
3. Ultimate vacuum: Less than 40 millitorr
4. 2-inch magnetron cathode
5. Electronic shutter
6. Electronic leak valve
7. Data transfer via USB port for curves and sputtering process data to PC
8. Overall dimensions: 47 cm height x 46 cm width x 37 cm depth
9. Power requirements: 220V-240V, 50/60Hz, 10A
10. 80 Watt DC switching power supply
11. Shipping weight (including vacuum pump): 42 kg
[ Optional accessories and components]
1. Quartz crystal sensors 2. Planetary Sample Rotation 3. Spare glass chamber 4. Sputtering targets 5. Sealing gaskets
