모델: GS-EA08V, GS-EA10V​, GS-EA12V​​

제품 개요: 

웨이퍼 캘리브레이터는 반도체 제조에 필수적인 도구로, 웨이퍼의 정밀한 사전 정렬을 위해 설계되었습니다.
웨이퍼의 노치를 활용하여 웨이퍼를 정확하게 위치시켜 후속 제조단계에서 최적의 배치와 방향을 보장합니다.
이 제 품들은 반도체 제조의 다양한 단계에서 광범위하게 사용되며 다양한 반도체 장비에 통합될 수 있습니다.


제품 성능:

• 소형 단축 로봇 모듈은 고속 및 고정밀 웨이퍼 캘리브레이션을 달성하는 데 사용됩니다. (웨이퍼 위치≤± 0.1mm; 웨이퍼 누락 가장자리/노치≤±0.1°)

• 효율적인 캘리브레이션, 웨이퍼 노치 위치 지정에는 3초(웨이퍼 픽 앤 플레이스 시간 제외) 밖에 걸리지 않으며 웨이퍼 중심 및 각도와 같은 보정 작업을 신속하게 완료하고 동시에 포지셔닝을 달성할 수 있습니다.

• 고성능 광학 센서가 장착되어 투명, 반투명 및 불투명 물체의 윤곽 감지 기능을 지원할 수 있으며 직경 100-300mm의 웨이퍼 및 유리에 적합합니다.

• 임베디드 컨트롤러 설계는 추가 컨트롤러 및 배선 공간의 필요성을 제거하여 초소형 크기를 달성합니다.

• 반도체, 광전자 등 고청정 환경에 적합하며, 청정도 수준은 lSO 표준 Class 2에 이릅니다.

• 실시간 모니터링 기능을 갖추고 있어 모터 구동 제어 시스템, 감지 시스템, 진공 시스템, 순환 시스템 및 기타 시스템의 상태를 실시간으로 감지할 수 있습니다.

• 이 시스템은 안전한 사용을 보장하기 위해 비상 정지 기능을 제공합니다.