4탐침 프로브(포포인트프로브/4 point probe)
특징
* 직렬 4 탐침법을 이용하여 실리콘 웨이퍼, 태양전지, ITO 박막 등의 시트 저항값·부피 저항률 측정.
* 최대 12인치까지 대응하는 장비구비, 측정하는 시료 사이즈에 맞추어 최적의 스테이지 선택가능.
* 전용 소프트웨어가 시트 저항·부피 저항률을 JIS 준거의 계산식으로 자동적으로 산출하므로
웨이퍼 면내 복수점의 데이터 수집도 용이하게 실시
* KEITHLEY 2401형 소스 미터를 표준 측정기로 준비
* 측정 전용 소프트웨어와 함께 사용하면 부드럽고 고정밀한 시트 저항 및 부피 저항률 측정 가능.
* 프로브 헤드는 NIST(미 국립표준기술연구소) 트레이서블한 교정용 시료를 이용해 출하전 검사 실시
* 프로브 침의 재질은 텅스텐 카바이드, 오스뮴 합금, 금도금 베릴륨 구리의 3종류로, 시료에 맞게 선택가능
SR-4 시리즈
* 프로브 헤드 높이 위치를 분해능 10um의 정밀도로 조정가능
* 컴팩트한 설계로 공간차지가 적게 측정가능
* 6인치, 8인치, 12인치용의 3기종, 시료 크기에 맞게 최적의 장치 선택
SR-H1000C
* 저렴한 가격으로 시트 저항 및 부피 저항률 측정가능한 4 탐침 프로브
* 스테이지의 척은 각형.
* 척 사이즈는 156mm 모서리, 300mm 모서리 두 기종이 준비되어 있습니다.