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반도체·LCD 연구장비
4탐침 프로브(포포인트프로브/4 point probe) 표면저항측정

 4탐침 프로브(포포인트프로브/4 point probe)



특징

* 직렬 4 탐침법을 이용하여 실리콘 웨이퍼, 태양전지, ITO 박막 등의 시트 저항값·부피 저항률 측정.

* 최대 12인치까지 대응하는 장비구비, 측정하는 시료 사이즈에 맞추어 최적의 스테이지 선택가능.

* 전용 소프트웨어가 시트 저항·부피 저항률을 JIS 준거의 계산식으로 자동적으로 산출하므로

웨이퍼 면내 복수점의 데이터 수집도 용이하게 실시

* KEITHLEY 2401형 소스 미터를 표준 측정기로 준비

* 측정 전용 소프트웨어와 함께 사용하면 부드럽고 고정밀한 시트 저항 및 부피 저항률 측정 가능.

* 프로브 헤드는 NIST(미 국립표준기술연구소) 트레이서블한 교정용 시료를 이용해 출하전 검사 실시

* 프로브 침의 재질은 텅스텐 카바이드, 오스뮴 합금, 금도금 베릴륨 구리의 3종류로, 시료에 맞게 선택가능

 

SR-4 시리즈

* 프로브 헤드 높이 위치를 분해능 10um의 정밀도로 조정가능

* 컴팩트한 설계로 공간차지가 적게 측정가능

* 6인치, 8인치, 12인치용의 3기종, 시료 크기에 맞게 최적의 장치 선택

SR-H1000C

* 저렴한 가격으로 시트 저항 및 부피 저항률 측정가능한 4 탐침 프로브

* 스테이지의 척은 각형.

* 척 사이즈는 156mm 모서리, 300mm 모서리 두 기종이 준비되어 있습니다.

 

사양

* 프로브스테이지

품명

SR-4-6

SR-4-8

SR-4-12

SR-H1000C

대응 사이즈

~6”

~8”

~12”

~156mm각

~300mm각

프로브 헤드

Z축 이동범위

10mm

10mm

10mm

18mm

18mm

프로브헤드

Z축 위치결정 미동기구

×

×

외형사이즈

W220×

D420×

H250(mm)

W700×

D800×

H300(mm)

W320×

D320×

H240(mm)

W700x

D700×

H300(mm)

무게

20Kg

50Kg

15Kg

40Kg

프로브헤드

1개 포함

* 프로브헤드

측정하는 시료에 맞추어 최적의 프로브 제안.

재질

침 간격

침 압력

선단반경

텅스텐카바이드

(경질)

1mm/0.635mm/

62mil/40mil

50g/100g/150g/

200g/250g

40um/100um/150um/

200um/250um/400um/

500um/600um

0.1F(플랫

오스뮴 합금

(연질)

도금 베릴륨 구리

1mm/62. 5mil(1.59mm)

85g

60um

* 測定器(KEITHLEY 2401)

자릿수

5.5 행

기본측정확도

0.012%

전류 인가 및 측정 범위

±(300pA~1A)

전압 인가 및 측정 범위

±(300uV~20V)

저항 측정 범위

0.3mΩ~1MΩ

전원

AC100V 50/60Hz

소비전력

190VA

외형 사이즈

W213×D370×H89(mm)

중량

3.21Kg

인터페이스

표준SCPI ,GPIB,RS-232

* 부속 소프트웨어

부피 저항률 측정 범위

1.35mΩ・cm~1MΩ・cm

시트 저항 측정 범위

1.35mΩ/□~1MΩ/□

대응 OS

Windows 7/ 8/ 8.1/ 10/11(32bit/64bit)

하드 디스크의 여유 공간

100MB이상

CPU

동작 クロック1GHz以上

データ出力形式

csv 파일

※ 포함된 전용 소프트웨어는 KEITHLEY 2401 사양에 맞추어 작성되었으므로, 그 외 측정기에서는 작동하지 않습니다.

KEITHLEY 2401 이외의 것을 측정기로 생각하고 있다면 별도의 소프트웨어를 대응하므로 문의주십시오.

 

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