HOME > 제품소개 > 반도체·LCD 연구장비
반도체·LCD 연구장비
큐빅 스퍼터코터(Cubic Sputtering Eqipment) SSP1000

** 큐빅 스퍼터코터 SSP1000 **

       Cubic Sputtering Eqipment

본체설치면을 변경하여,  원하는 성막방향 설정가능

 






* 고성능, 고품질을 실현한 탁상형 소형스퍼터코터

* 성막방향(UP,SIDE,DOWN)을 자유롭게 변경하는 유니크한 구조로, 1석3조의 성막실험가능

* RF전원을 적용하여 금속타겟뿐 아니라, 절연타켓의 성막도 가능

* 소형이면서 여러종류의 실험에 사용

 

 

- 양성 -

* 장비본체가 큐빅모양으로 되어 있어, 설치면을 변경하여 스퍼터방향을 임의로 선택가능

* 옵션의 정극마그네트교환에 따라 자성타겟에도 대응가능

* 프로세스 가스는 가스유량미터를 구비하여, 옵션으로서 1계통추가가능 (최대2계통)

 

- 성능 -

* 기판 Ø100mm에어리어로 성막분포 ±5%이하 실현

* 펄스 기구 부착 RF전원을 표준채용하여, 이상방전을 일으키는 절연타겟도 성막가능

* 기판자동회전성막, 타겟직상기판정지성막의 선택가능

 

- 간편성-

* 소형으로 탁상설치 가능

* 배기조작은 전자동

* 챔버내부 방착실드판과 윈도우(셔터, 실드글래스)를 구비

* 프리스퍼터시에 기판표면의 오염을 막고, 정극셔터를 탑재

* 정극셔터와 연동한 스퍼터타이머를 구비하여 막후관리가능

 





* Depo Up  : 기판으로의 파티클부착을 가장 잘 막는 배치

* Depo Side : 기판으로의 파티클부착 및 타켓으로의 프레이크부착을 막고, 고품질 성막 가능한 배치

* Depo Down : 기판홀더위에 기판을 올려두기만 해도, 부정형기판등의 성막에 최적

 

 

목록