** 큐빅 스퍼터코터 SSP1000 **
Cubic Sputtering Eqipment
본체설치면을 변경하여, 원하는 성막방향 설정가능
* 고성능, 고품질을 실현한 탁상형 소형스퍼터코터
* 성막방향(UP,SIDE,DOWN)을 자유롭게 변경하는 유니크한 구조로, 1석3조의 성막실험가능
* RF전원을 적용하여 금속타겟뿐 아니라, 절연타켓의 성막도 가능
* 소형이면서 여러종류의 실험에 사용
- 다양성 -
* 장비본체가 큐빅모양으로 되어 있어, 설치면을 변경하여 스퍼터방향을 임의로 선택가능
* 옵션의 정극마그네트교환에 따라 자성타겟에도 대응가능
* 프로세스 가스는 가스유량미터를 구비하여, 옵션으로서 1계통추가가능 (최대2계통)
- 성능 -
* 기판 Ø100mm에어리어로 성막분포 ±5%이하 실현
* 펄스 기구 부착 RF전원을 표준채용하여, 이상방전을 일으키는 절연타겟도 성막가능
* 기판자동회전성막, 타겟직상기판정지성막의 선택가능
- 간편성-
* 소형으로 탁상설치 가능
* 배기조작은 전자동
* 챔버내부 방착실드판과 윈도우(셔터, 실드글래스)를 구비
* 프리스퍼터시에 기판표면의 오염을 막고, 정극셔터를 탑재
* 정극셔터와 연동한 스퍼터타이머를 구비하여 막후관리가능
* Depo Up : 기판으로의 파티클부착을 가장 잘 막는 배치
* Depo Side : 기판으로의 파티클부착 및 타켓으로의 프레이크부착을 막고, 고품질 성막 가능한 배치
* Depo Down : 기판홀더위에 기판을 올려두기만 해도, 부정형기판등의 성막에 최적