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반도체·LCD 연구장비
분체용 ALD 장비(원자층 증착장비 ) SAL1000B

** 분체용 ALD 장비(원자층 증착장비 ) SAL1000B **

        Powder Atomic Layer Deposition Eqipment

 




* 1원자 층마다 정밀한 증착제어를 실현

* 균일한 단차피복성이 뛰어난 연구개발용 탁상소형원자층증착장비
* 분체용기의 진동·회전과 장비전체의 경사가 효율좋게 분체를 교반하여, 분체전면의 성막가능
* 본체와 제어전원을 일체화하여, 탁상에서 자유롭게 이동할 수 있으며, 경량의 소형장비
* 분체 외, 4인치사이즈까지 기판성막가능.
* 각 부분에 안전대책마련
  (제조사 성막테스트 가능)

 




 

[특징]

- 다양성 -
* 프리커서는 표준사양으로 2계통
* 분체성막 외에, MAX 4인치사이즈의 Si 웨이퍼등의 성막도 가능
* 경사프레임은 장비본체를 수평에서 45˚까지 가변가능
* 프리커서 실린더를 200℃까지 가열가능한 옵션 선택가능
* 비교적 저렴한 가열식배기가스처리장비를 옵션으로 선택가능
* 글로브박스를 옵션으로 선택가능(다만, 본체사이즈의 깊이가 35mm길어짐)

 

- 성능 -
* 기판표면에 1원자층마다 균일하게 핀홀 프리의 레이어성막가능
* 단차피복성이 뛰어나므로, 요철의 표면형상 및 3차원형상의 성막에 적합
* 헤라 등의 분체에 직접적촉하는 교반부를 사용하지 않으므로, 불순물이 적은 분체성막가능
* 진동과 경사회전용기에 의한 중력을 이용한 교반기구로, 각각의 분체전면에 성막가능
※ 분체를 용기에 넣은 상태에서 덩어리가 있는 경우, 본 교반기구로로 뭉친 것은 그 상태가 유지된채

, 덩어리내부의 입자에는 전면에 성막이 불가능한 경우가 있음


- 편리한 사용 -
* 터치패널로 성막프로세스의 레시피설정 및  각 구동기기의 동작확인
* 스타트스위치로 자동성막하고, 성막완료후에 자동 N2 Vent(분출)
* 개폐해치에 붙여진 창으로 분체교반상태 확인가능


- 안전성 -
* 각종 인타로크로 인하여, 높은 안전성의 장비
* 소프트로즈기구부착 윗면해치로 인하여 기판의 출입이 용이
* 장비 하우징 안을 부압하는 배기덕트호스아답터 장착(덕트는 유저가 직접 접속) 

 



 

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