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반도체·LCD 연구장비
Wafer용 UV경화기 ( UV Curing System )

*** Wafer용 UV경화기(UV CURING SYSTEM) ***


1. Model : UH102 Series (UH102-8, UH102-12)

  

  


모델 UH102-8 및 UH102-12 UV 경화 시스템은 제어 또는 다용성을 희생하지 않고 사용하기 쉬운 벤치 탑 패키지로
UV 필름 경화를 위한 저렴한 솔루션을 제공합니다.

 

특징:
-독립형 벤치 탑 모델
-UV 접착제의 완전한 경화를 보장하는 질소 퍼지
-쉽게 프로그래밍 가능한 마이크로 프로세서 기반 컨트롤러
-램프 강도 측정 포트
-균일하고 일관된 UV 노출을위한 사문석 스타일 그리드 램프
-중소 규모 생산 및 R & D 애플리케이션에 이상적
-필름 프레임 또는 그립 링 (UH102-8)에 최대 8 "(200mm) 웨이퍼 수용, 최대 12"(300mm) 웨이퍼 용량 (UH102-12)
-배기 연결

 

옵션 :
-최대 8 인치 웨이퍼 크기 (UH102-8)의 필름 프레임 어댑터, 최대 12 인치 웨이퍼 크기 (UH102-12)
-링 어댑터 최대 8 "웨이퍼 크기 (UH102-8), 최대 12"웨이퍼 크기 (UH102-12)
-UV 램프 강도 방 사계 (아래 센서 / 감쇠기 어셈블리 필요)
-센서 / 감쇠기 어셈블리 (위의 Radiometer 필요)
- 'CE'마크

 2. Model : UH104 Series ( UH104-8, UH104-12, UH104-12W )

 

  

  

모델 UH104 시리즈 UV 경화 시스템은 시장에서 가장 비용 효율적인 UV 테이프 노출 솔루션입니다. 
저렴한 비용에도 불구하고이 장치는 다른 반자동 및 자동 고급 UV 경화 시스템과 동일한 UV 노출 균일성과
빠른 UV 경화 시간을 제공합니다. 
또한 모델 UH104-8 및 UH104-12는 저온, 저온 UV-A 365nm 경화 프로세스를 통해
환경적으로 안전한 새로운 오존없는 UV 램프 어레이를 특징으로합니다.

 

특징:
-컴팩트 한 데스크탑 프로파일은 UH104-8에서 최대 8 "(200mm) 그립 링 또는 필름 프레임 장착 웨이퍼를 수용하고, 모델 UH104-12에서 최대 12"(300mm)를 수용합니다. 모델 UH104-12W에서 최대 12.3 "정사각형의 직사각형 기판.
-친환경적이고 오존이없는 UV 램프
-빠른 경화 시간
-쉽게 프로그래밍 가능한 마이크로 프로세서 기반 컨트롤러
-반복 가능하고 신뢰할 수있는 단일 프레임, 수동 작동
-뛰어난 비용 / 성능 가치
-저온, 저온 UVA 365nm 경화 공정
-높은 에너지 효율
-석영 유리창
-램프 강도 측정 포트

 

옵션 :
-전동, 회전 작업대
-6 "필름 프레임 어댑터
-8 "필름 프레임 어댑터
-UV 램프 강도 방 사계 (아래 센서 / 감쇠기 어셈블리 필요)
-센서 / 감쇠기 어셈블리 (위의 Radiometer 필요)
- 'CE'마크

 

 https://www.youtube.com/watch?v=WR7A_VVZBvQ&feature=youtu.be



3. Model : UH105 Series ( LED UV 경화시스템 ) 

 

  

 

 

모델 UH105 시리즈 LED UV 경화 시스템은 매우 효율적이고 비용 효율적인 웨이퍼 경화를위한 최신 제품입니다. LED 광 경화 기술은 낮은 운영 비용과 주문형 경화를위한 즉각적인 시작을 포함하여 기존의 램프 기반 UV 경화 시스템에 비해 상당한 이점을 제공합니다. 모델 UH105 시리즈는 다른 반자동 및 자동 하이엔드 UV 경화 시스템과 동일한 UV 노출 균일성과 빠른 경화 시간을 제공하며 오존 및 수은 안전 위험을 모두 제거하면서 저온의 저온 UV-A 365nm 경화 프로세스를 생성합니다. 고속 컨베이어 시스템은 최적의 경화를 위해 프로그래밍된 원하는 속도로 느려지고 유지하면서 웨이퍼를 전진시키고 완료시 배출합니다. 

  

특징:
-컴팩트 한 데스크탑 프로파일은 최대 8 "(200mm) 그립 링 또는 필름 프레임 장착 웨이퍼와 최대 8"(w) x 12 "(l)의 직사각형 기판을 수용합니다.
-오존이없고 환경 적으로 안전한 LED UV 램프 어레이
-주문형 경화를위한 즉각적인 시작
-빠른 컨베이어 시스템이 경화 전후에 기판을 전진 및 배출합니다.
-램프 교체가 적고 가동 중단 시간이 거의없는 매우 긴 수명을 포함하여 기존 시스템에 비해 상당한 운영 비용 절감
-일관된 처리를위한 매우 안정적인 램프 강도
-쉽게 프로그래밍 할 수있는 마이크로 프로세서 기반 컨트롤러로 노출 시간 조정 가능
-반복 가능하고 신뢰할 수있는 단일 프레임, 반자동 작동
-뛰어난 비용 / 성능 가치
-저온, 저온 UVA 365nm 경화 공정
-높은 에너지 효율
-램프 강도 측정 포트

 




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