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반도체·LCD 연구장비
Die 메트릭스 확장기 ( Die Matrix Expander )

*** Die 메트릭스 확장기 (Die Matrix Expanders ) ***

1.Model : UH132 Series ( UH132 , UH132-12 ) - 모터드라이브-

 

  

  


모델 UH132 시리즈 모터 드라이브 다이 매트릭스 확장기는 정밀 웨이퍼 확장 및 다이 프레젠테이션에서 또 다른 높은 표준을 설정합니다. 인기가 높은 UH130 시리즈를 기반으로하는 새로운 UH132 시리즈는 계속해서 다이 분리 공정 매개 변수를 정밀하게 제어하지만 이제는 선형 및 균일한 확장을 모두 생성하여 웨이퍼 확장에 훨씬 더 정밀한 디지털 속도 제어를 제공하는 새로운 모터 드라이브 설계를 통합합니다. 전체 드라이브 스트로크에 걸쳐. UH132 시리즈의 새로운 프로그래밍 기능을 사용하면 예열 (유지) 시간과 램 속도를 모두 절약 할 수있어 일관되고 반복 가능한 결과를 위해 전체 제어와 최대 정확도 및 정밀도를 제공합니다. 다이 분리 거리는 모델 UH132 시리즈로 정밀하게 제어됩니다. 

 


특징:
-최대 8 "(200mm) 웨이퍼 / 필름 프레임 (모델 UH132) 및 12"(300mm) 웨이퍼 / 필름 프레임 (모델 UH132-12) 수용
-디지털 속도 제어 및 2.8 "조정 가능한 스트로크 (램 높이)가있는 모터 구동 램
-전동 원형 커터 어셈블리 (모델 UH132-12의 표준, 모델 UH132의 옵션)
-서미스터가있는 디지털 온도 제어 가열 단계
-조정 가능한 스트로크 중지로 인해 일관된 확장 반복성 제공
-일관된 반복성을 위해 정밀하게 제어되는 다이 분리 거리
-10 회전 다이얼 표시기에 의한 정확한 높이 조절 (일대일 비율)
-조정 가능한 예열 시간 (최대 99 초) 및 램 속도 (18 개 속도 설정)를위한 최대 9 개의 프로그램
-안전 과압 센서 및 램 정지용 슬립 클러치
-비상 정지 버튼
-정전기 방지용 플렉시 글라스 슈라우드
-상하 클램프 조립
-하부 클램프 (외부 그립 링) 어셈블리 및 상부 클램프 (내부 그립 링) 어셈블리는 더 큰 그립 링 (UH132-12)을 사용할 수 있도록 별도로 힌지 가능
-정렬 핀은 쉽고 정확한 필름 프레임 배치를 제공합니다.
-자동화 ​​된 공정으로 정렬 시간 감소 및 수율 증가
-사실상 제거 된 운영자 변수

 

옵션 :
-전동 원형 커터 어셈블리 (모델 UH132)
-다양한 웨이퍼 / 그립 링 크기를위한 그립 링 어댑터
- 'CE'인증

 


2.Model : UH130 Series ( UH130 , UH130-12 )  - 공압-

 

  

  

모델 UH130 다이 매트릭스 확장기는 다이 분리 공정 매개 변수의 정밀한 제어를 통해 다이 프레젠

테이션의 표준을 정의합니다. 더 나은 다이 프레젠테이션은 더 높은 처리량과 증가된 수율을 가져

옵니다. UH130 시리즈는 다이 방향과 일관된 다이 간격을 유지하여 이를 용이하게합니다. 당사의

 다이 매트릭스 익스팬더는1) 수용 및 조정 가능성 모두에서 유연성, 2) 반복 가능한 결과를위한 

정확성 및 정밀도, 3) 작동의 단순성을 통합합니다. 다이 분리 거리가 정밀하게 제어됩니다. 

 


특징 :
-최대 8 "(200mm) 웨이퍼 / 필름 프레임 (모델 UH130) 및 12"(300mm) 웨이퍼 / 필름 프레임 (모델 UH130-12) 수용
-속도 제어 및 2.3 "조절 가능한 스트로크 (램 높이)가있는 공압 램
-전동 원형 커터 어셈블리 (모델 UH130-12의 표준, 모델 UH130의 옵션)
-수동 클램프로 비상 정지
-서미스터가있는 디지털 온도 제어 가열 단계
-조정 가능한 스트로크 중지로 인해 일관된 확장 반복성 제공
-정전기 방지용 플렉시 글라스 슈라우드
-일관된 반복성을 위해 정밀하게 제어되는 다이 분리 거리
-정렬 핀은 쉽고 정확한 필름 프레임 배치를 제공합니다.
-자동화 ​​된 공정으로 정렬 시간 감소 및 수율 증가
-하부 클램프 (외부 그립 링) 어셈블리 및 상부 클램프 (내부 그립 링) 어셈블리는 더 큰 그립 링 (UH130-12)을 사용할 수 있도록 별도로 힌지 가능
-편리한 : 탁상 디자인, 작동하기 쉬운
-사실상 제거 된 운영자 변수

 

옵션 :
-전동 원형 커터 어셈블리 (모델 UH130)
-다양한 웨이퍼 / 그립 링 크기를위한 그립 링 어댑터
- 'CE'인증
 

  

  




 

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