HOME > 제품소개 > 반도체·LCD 연구장비
반도체·LCD 연구장비
UV 노광기 ( UV Exposure )

*** Roll To Roll 자동 평행광 UV노광기 ***

(Roll to Roll Automatic Collimated Light UV Exposure Machine)

제품 설명

Flexible PCB(FPCB)의 단면 노광에 사용하기 위해 개발된 장비입니다. 노광폭은 250mm 혹은 500mm 까지 가능하도록 설계되었습니다.

주요 사용처 : FPCB 제조 공정

 

제품 특징

광학계, 광원, 기구 부분이 일체형이며 단면 노광용이다.
② 본 장비는 Roll To Roll 단면 평행광 노광기(하향식) : 평행광원 설치
③ 노광기 기준 광원별 분류, 상호 교환 설치 가능 - Short arc lamp 5kW (PC5000SV)
④ ROLL(FPC), 폭 500mm이하, 단면 내층(DF작업만 된 상태-기준 홀 없음)-외층 시 비젼 및 ALIGN기구 추가
•조도 : 25 mw/㎠이상 uniformity : 85%이상
•노광 영역 : 500mm X 500mm
•품질 정도 40㎛ ~ 60㎛ 의 제품 생산( D/F 30㎛이하 사용)
•작업시간(tact time) DF 50mj/㎠ 기준시 : 4~6초(sec)로 사용. 일반 노광기 진공방식(밀착방식-hard contact).
•3RT(냉동기 및 실외기) + 강제공냉 배풍 방식 조합 사용
•센싱(EPC 감응), 기구 정열(STEPPING MOTOR)-설계(장치)포함
•PLC 및 터치 판넬 적용



제품의 주요 사양

 


 

*** 수평 평행광 양면 UV 노광기 ***

(Manual Double-Sided Collimated Light UV Exposure Machine)

 


제품 설명

수동 평행광 노광기로, 자동 Align 기능이 포함된 반자동 노광기입니다.

주요 사용처 :  PCB, FPCB 제조공정

제품 특징

- 주로 DFR(Dry Film Photoresist) 노광에 많이 사용함.

- Short arc lamp 5kW (PC5000SV) 기본형이나 8kw 채용가능한 구조로 되어 있다.

• 조도 : 25 mw/㎠이상 uniformity : 85%이상
• 노광 영역 : 510mm X 610mm
• 품질 정도 20㎛ ~ 60㎛ 의 제품 생산( D/F 20㎛이하 사용)
• 작업시간(tact time) DFR 50mj/㎠ 기준시 : 4 ~ 6초(sec)로 사용.
• 3RT(냉동기 및 실외기) + 강제공냉 배풍 방식 조합 사용
• 센싱(EPC 감응), 기구 정열(STEPPING MOTOR)-설계(장치)포함
• PLC 및 터치 판넬 적용



제품의 주요 사양


 

*** 반자동 평행광 단면 얼라인 UV 노광기 ***

(Semi-Automatic, Single-Sided Alignment, Collimated Light Exposure)

 


제품 설명

소규모의 PCB 업체를 위한 반자동 노광기로 Align 기능이 포함 되어 있는 반자동 평행광 노광기입니다.

주요 사용처 :  PCB 및 FPCB 제조공정

제품 특징

본 장비는 Fine Pattern 노광용 노광기로서, Lead Frame, EMI Filter, CSP등의 제조에 널리 사용되고 있는

    Model이다.

    Standard Panel Size는 510 x 610이며 Mechanical System Control은 PC Control로 이뤄지며, 제품 처리 

    조건은 Touch Screen & M/C간의 Conversation 방식으로 제품이 처리되도록 되어 있다.
② Half-Collimations Angle이 1.5 degree 임.
③ 누광 (漏光) 최소화, 구동 시 저소음. 유지• 관리 및 Trouble Shoot가 용이하며 조도 안정성이 향상된 Model 이다.
④ Alignment 기준 : 10 ± 3㎛. Substrate Glass 대각 Square 2 Point Edge 기준.
  • 2 CCD Camera FOV = (6.4mmX4.8mm), M/Film Align 기준 (Left, Center, Right) (Option : 4CCD)
  • Alignment Mark 고정 : (Ø0.5~1.5)/2 Point 이동 Mark: (Ø1~3) Hole
  • Mask Setting 용 기준 핀대 (Alignment 가능범위 : 마크 허용 오차 ± 0.3mm)
⑤ 구동방식 : 상하방향 2점, 좌우방향 1점 모터 구동, 역 구동은 렌즈 쪽으로 구동. X.Y.Z의 정합은

    Stepper Motor 사용, 상판 Mask 고정 (Fixed Reference) Stage 구동 분해능: 2㎛ 이하, 이동량 ±5mm
⑥ Mask Film Setting 방식: 필름을 Pre- Alignment Mark 위치를 영상처리 하여 수작업 Setting.
  • Mask 허용 오차 : ± 0.3mm, Mask Setup Time : 5분



제품의 주요 사양


 

목록