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반도체·LCD 연구장비
박막두께측정기 (MProbe 20 UVVis NIR-RT Thin Film Measurement System)
** 박막두께측정기 (MProbe 20 UVVis NIR-RT Thin Film Measurement System) **
** MProbe 20 UVVis NIR**
- 대부분 반투명 또는 가볍게 흡수되는 필름은 신속하며 안정적으로 측정 : 산화물, 질소화물, 포토 레지스트, 폴리머,
반도체 (Si, aSi, polySi), 견고한 코팅 (SiC, DLC), 고분자 코팅 (Paralene, PMMA, 폴리아미드), 얇은 금속 필름
기타 등등.
- 두께 범위 : 10 nm - 75 μm
- 파장 범위 : 400 nm -1000 nm
- LCD, FPD 응용 분야 : ITO, 셀 갭, 폴리 아미드. 광학코팅 : 유전체 필터, 경고한 코팅, 반사 방지코팅 반도체 및
유전체 : 산화물, 질소화물, OLED 스택.
- 실시간 측정 및 분석 : 멀티 레이어, 얇고, 두껍고, 독립형이고 비균일한 레이어.
- 광범위한 소재 라이브러리 (500 + 소재) - 신소재 쉽게 추가.
- 파라미터가 있는 소재 지원 :코시, 타크-로렌츠, 코디-로렌츠, EMA 및 그 외 다양함.
- 유연성 : 데스크톱 또는 현위치, R &D 즉각처리.
- TCP Modbus 인터페이스를 사용하는 외부 시스템으로 간편한 통합.
- 측정 : 두께, 일정한 광학, 표면 반사율 및 투과율 스펙트럼.
- 사용자에게 간편하며 강력함 : 원-클릭 측정 및 분석.
- 강력한 도구 : 시뮬레이션 & 섬세함, 배경 및 스케일링 수정, 링크된 레이어 및 소재, 멀티샘플 측정, 동적 측정 및
