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반도체-신소재-나노/MEMS 연구장비
필름코터 (Film Coater) - MSK-AFA-III
- 일정한 두께의 필름을 제작하도록 설계되었으며, 다양한 가열방식을 가진 컴팩트 테이프 캐스팅 코터.
- 모든 종류의 재료로 부드러운 코팅을 할 수 있는 독특한 운행 시스템
- 평평한 진공척이 기판을 고정하기 위해 장착되어 있으며, 마이크로미터 어플리케이터(닥터블레이드)는
하나에 100mm 너비조절이 가능
- +/-1°C의 온도 정확도로 최대 100°C까지 건조하기 위해서는, 디지털컨트롤러가 장착된 히터를 장비의
상단 혹은 하단쪽에 선택부착가능
- 세라믹 테이프 캐스팅 및 Li-Ion 배터리 전극 코팅 연구에 적합
- CE 인증 및 UL/CSA 통과
(2019년 1월 15일부터 최대 120°C까지 하단 가열 업그레이드, 2019년 3월 10일부터 상단 UV Light 추가됨)
- 모든 종류의 재료로 부드러운 코팅을 할 수 있는 독특한 운행 시스템
- 평평한 진공척이 기판을 고정하기 위해 장착되어 있으며, 마이크로미터 어플리케이터(닥터블레이드)는
하나에 100mm 너비조절이 가능
- +/-1°C의 온도 정확도로 최대 100°C까지 건조하기 위해서는, 디지털컨트롤러가 장착된 히터를 장비의
상단 혹은 하단쪽에 선택부착가능
- 세라믹 테이프 캐스팅 및 Li-Ion 배터리 전극 코팅 연구에 적합
- CE 인증 및 UL/CSA 통과
(2019년 1월 15일부터 최대 120°C까지 하단 가열 업그레이드, 2019년 3월 10일부터 상단 UV Light 추가됨)
