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반도체·LCD 연구장비
액티브제진대(Active 제진대)

액티브 제진대

저주파 진동에 민감한 정밀측정장비를 위한 탁상형 액티브 제진대

 


1~10Hz 저주파 대역의 진동에 민감하여 영향을 받기 쉬운 초정밀 장비에 효과적인 액티브 진동제어 장치. 

제어 범위는 0.5Hz 부터 시작하며, 10Hz에서 98%의 제진 효율을 발휘.

 

 

• 탁상형 액티브 제진대

• 플러그 & 플레이 방식

• 컴팩트한 디자인과 휴대성이 탁월함

•​ 압축 공기가 필요 없음

• 98% 제진률 at 10 Hz

• 피드백(Feedback) & 피드포워드(Feed-forward) 제어시스템

• 150kg 중량까지 진동제어 가능 

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