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반도체·LCD 연구장비
Mikasa Spincoater(스핀코터) Ms-B100 / Ms-B150 / Ms-B200 / MS-B300


MS-B100
​  :  φ4인치 웨이퍼•75mm각 기판 대응 모델




MS-B150  :  
φ6인치 웨이퍼•100mm각 기판 대응 모델




MS-B200  :  
φ8인치 웨이퍼•150mm각 기판 대응 모델





MS-B300  :  
φ12인치 웨이퍼•200mm각 기판 대응 모델



 

 


MS-B100
​  성막成膜 이미지


성막 장치 

MS-B100 

막 두께 측정 장치 

FILMETRICS F50 

리지스트 

OFPR-800LB(도쿄오우카사 제조) 

기판 사이즈 

φ4인치 실리콘 웨이퍼 

타켓 막 두께 

1μm 

막 두께 분포 

±0.8 

 

 





MS-B150​  성막成膜 이미지

성막 장치 

MS-B150 

막 두께 측정 장치 

FILMETRICS F50 

리지스트 

OFPR-800LB(도쿄오우카사 제조) 

기판 사이즈 

φ6인치 실리콘 웨이퍼 

타켓 막 두께 

1μm 

막 두께 분포 

±0.6 





MS-B200​  성막成膜 이미지

성막 장치 

MS-B200 

막 두께 측정 장치 

FILMETRICS제품 F50 

리지스트 

OFPR-800LB(東京応化사 제조) 

기판 사이즈 

φ8인치 실리콘 웨이퍼 

타켓 막 두께 

1μm 

막 두께 분포 

±0.5% 





MS-B300
​  성막成膜 이미지

 

성막 장치 

MS-B300

막 두께 측정 장치 

FILMETRICS제품 F50

리지스트 

OFPR-800LB(東京応化사 제조)

기판 사이즈 

φ12인치 실리콘 웨이퍼 

타켓 막 두께 

1μm 

막 두께 분포 

±0.8 

MS-B100​ 사양

최대기판 사이즈 

φ4인치 웨이퍼 또는 

75 x 75mm기판 

세이프티

인터록 

진공 

표준장비 

회전 수(rpm) 

20~8,000 

뚜껑 

옵션 

회전 정도 

±1rpm(부하시) 

적하 장치 

장착불가 

모터 

 AC서보모터 

뚜껑 

아크릴 

사용 진공압 

-0.08 ~ -01.MPa 

스핀 안쪽 지름 

φ220mm 

전원 

AC100~240V 5A 

스텝패턴 수 

100스텝 x 10패턴 

외형 길이(mm) 

259W x 246H x 330D 

시간설정 

999.9sec 

중량 

10kg 


 



MS-B150
​ 사양
 

최대기판 사이즈 

φ6인치 웨이퍼 또는 

100 x 100mm기판 

세이프티

인터록 

진공 

표준장비 

회전 수(rpm) 

20~7,000 

뚜껑 

옵션 

회전 정도 

±`1rpm(부하시) 

적하 장치 

옵션 

모터 

 AC서보모터 

뚜껑 

아크릴 

사용 진공압 

-0.08 ~ -01.MPa 

스핀 안쪽 지름 

φ290mm 

전원 

AC100~240V 5A 

스텝패턴 수 

100스텝 x 10패턴 

외형 길이(mm) 

352W x 303H x 432D 

시간설정 

999.9sec 

중량 

16kg




MS-B200
​ 사양

최대기판 사이즈 

φ8인치 웨이퍼 또는 

150 x 150mm기판 

세이프티

인터 록 

진공 

표준 장비 

회전 수(rpm) 

20~5,000 

뚜껑 

표준 장비 

회전 정도 

±1rpm(부하시) 

적하 장치 

옵션 

모터 

 AC서보모터 

뚜껑 

폴리카보네이트 

사용 진공압 

-0.08 ~ -0.1MPa 

스핀 안쪽 지름 

φ360mm 

전원 

AC100~240V 5A 

스텝패턴 수 

100스텝 x 10패턴 

외형 길이(mm) 

500W x 335H x 583D 

시간설정 

999.9sec 

중량 

28kg 




MS-B300​ 사양 

최대기판 사이즈 

φ12인치 웨이퍼 또는 

200 x 200mm기판 

세이프티

인터 록 

진공 

표준 장비 

회전 수(rpm)

20~5,000

뚜껑 

표준 장비 

회전 정도 

±1rpm(부하시) 

적하 장치 

옵션 

(2암까지 장착 가능)

모터 

 AC서보모터 

뚜껑 

폴리카보네이트 

사용 진공압 

-0.08 ~ -0.1MPa

스핀 안쪽 지름 

φ500mm

전원 

AC100~240V 단층 5A

스텝패턴 수 

100스텝 x 10패턴 

외형 길이(mm)

545W x 432H x 654D

시간설정 

999.9sec

중량 

55kg

 

 

 ※ 사양은 제조사의 사정에 의해 예고 없이 변경될 수 있습니다

 

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