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반도체·LCD 연구장비
류수식 초음파 세정기 포인트 타잎(저주파) W-357P-50
류수식 초음파 세정기 포인트 타잎(저주파) W-357P-50
기존의 제품보다 폭넓은 세정에어리어를 얻을 수 있습니다. 저주파(400kHz), 고출력100W로 세정력이 향상.
Hone부에 P.P(폴리프로필렌)을 채용하여 금속이온의 발생이 거의 없습니다.
용도
갈륨비소경면연마후 세정, 증착전 세정에
하드디스크, 실리콘기판세정에
CMP프로세스 후의 세정에
사양
●출력가변범위:약0~100%
●사용주위환경:온도:5~40℃、습도:10~85%
●외부구동용 접점의 정격:초음파 발진제어(제어측) 접점입력:DC24V 20mA이하
경보용 출력(본체)접점용량:DC24V 20mA이하
■부속케이블:전원코드(2m)、공회전방지코드(5m)、외부구동코드(5m)、경보출력코드(5m)
●사용액 온도범위:20~50℃
●진동자:PZT
●재질:노즐:PP(폴리프로필렌)、특수세라믹스、
팩킹:실리콘고무
진동판:탄탈
●코드길이:출력코드 5m
●급액구:적합튜브(외경φ13)