HOME > 제품소개 > 반도체·LCD 연구장비
반도체·LCD 연구장비
류수식 초음파 정기 포인트타잎(펄스제트)W-357-1MPG

류수식 초음파 세정기 포인트 타잎(펄스제트) W-357-1MPG

 

류수식 세정기 
주로 웨이퍼나 하드디스크 를 세정하기 위해, 노즐선단에서 방사된 류수에 초음파를 중첩시켜 피세정물의 세정을 하는 포인트타잎의 류수식 초음파세정기입니다.  방사된 류수는 초음파의 전파와 동시에 초음파작용으로 박리된 오염물질의 운송체로서 기능을 합니다.
류수식이기때문에 파티클이 다시 붙지 않으며, Submicron의 파티클제거율이 높은 특징이 있습니다.  매엽처리가 가능하기때문에 생산라인의 조립이 용이합니다.
용도, 사용액에 맞춰 풍부한 배리에이션으로 선택할 수 있습니다. 

1MHz (W-357-1MPD)




정전력 디지털 발진기채용한 펄스제트 세정기.
수온, 주위온도의 변화에 대응하고, 안정된 초음파를 발진.
진동자의 구동주파수는, 진동자의 전압. 전류의 위상을 일정하도록 추종합니다. 출력은, 진동자로부터 공급하는 에너지를 일정하게 하기 위해 정전력으로 제어하고 있습니다. 주파수의 추종과 정전력제어가 협조되어지는 것에 의해, 진동자로부터의 초음파발진을 안정화함과 동시에, 발진기의 손실을 억제할 수 있습니다.
노즐교환시에 발진기의 조정이 필요없음.
동일사양의 노즐과 케이블로 교환할 경우, 발진기와의 조정이 필요없어서 메인터넌스가 용이합니다.


출력감시
RS422A에 대응하여, 외부출력가변이 가능합니다. 전압출력치를 4-20mA에서도 출력합니다. 


W-357-1MPG 후속모델 *

사양

●출력가변범위 :0W~40W 
●사용주위환경:온도:5~40℃、습도:10~85%
●외부구동용 접점의 정격:초음파발진제어(제어측) 접점입력:DC12V 16mA이상
 경보용 출력(본체)접점용량:DC24V 0.5A
■부속케이블:전원코드(100V/2m  혹은 200V/3m)、제어코드 (5m)x4 ​





●사용액 온도범위:20~50℃
●진동자:PZT
●재질:노즐:PCTFE、PTFE、 팩킹:FFKM、 진동판:특수세라믹스
●급액구:적합튜브(외경φ6) 
●코드길이:출력코드 5m 

 


 

목록