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반도체·LCD 연구장비
고성능 액티브 자기장 캔슬러
고성능 액티브 자기장 캔슬러
전철, 자동차, 엘리베이터 등의 자성체의 통과나 전원 등이 원인인 자기장변동은, 전자현미경과 같은 전자 빔 대용장치 등에 악영향을 끼칩니다. AMC-330은 임의로 정한 방향에 자기장변동을 고감도 자기장센서 및 디지털 컨트롤러로 검출하여, 헬름홀츠 코일을 사용하여 역 위상의 자기장을 발생시킴으로써 자기장변동을 억제하는 시스템입니다
전철, 자동차, 엘리베이터 등의 자성체의 통과나 전원 등이 원인인 자기장변동은, 전자현미경과 같은 전자 빔 대용장치 등에 악영향을 끼칩니다. AMC-330은 임의로 정한 방향에 자기장변동을 고감도 자기장센서 및 디지털 컨트롤러로 검출하여, 헬름홀츠 코일을 사용하여 역 위상의 자기장을 발생시킴으로써 자기장변동을 억제하는 시스템입니다
기본원리 (헬름홀츠 코일)
■변동 자기장의 원인
자성체의 이동에 의한 것(자동차, 엘리베이터, 전철 등) ? 전원 노이즈 (50 or 60Hz)
주변기기의 영향
■헬름홀츠 코일
똑 같은 감기 수로 직렬에 접속하여 평행으로 배치된 코일
전류를 흘려 보내면 코일의 축 방향으로 자기장이 발생하는 성격을 가지고 있음.
특징
■고성능
최대 40~60dB의 뛰어난 감쇠성능
■낮은 비용
실드에 의한 자기장 대책과 비교해 약 1/10의 비용을 실현
■간단 시공
장치주변에 코일을 고정하기만 하면 되는 간단 시공
제어 방식 : 직류 대표 값 제어 + 각 축 독립 피드백 제어
제어 범위 : ±3μT（인정 가능）
제어 주파수 : 준DC~1kHz
감쇠율 : 40~60dB
용도
■주사형 전자 현미경(SEM) ■투과형 전자 현미경(TEM) ■집속 이온 빔(FIB) ■질량분석장치(MASS)
■전자빔 묘화 장치(EBL) ■마스크 검사장치 ■웨이퍼 관찰 측장SEM
