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반도체·LCD 연구장비
액티브 제진 유닛 α시리즈

[액티브 제진 유닛] α시리즈

공기압 액추에이터를 채용하여, 제진 성능은 물론 쉽게 대 출력 확보와 위치제어가 가능합니다. 사이즈는 작아도 초고성능으로 움직이는 α2는 절연, 제진, 복원, 조작성에 각각 뛰어난 효과를 발휘할 수 있습니다. 또한 중량과 용도에 맞춰 표준 15가지 기능을 갖추고 있어, 탑재기기와의 매치도 충분히 가능합니다.

근래, 반도체 액정산업에선 점점 미세화되는 반면, 생산라인의 제조/검사장치는 생산효율을 향상시키기 위해 대형화?고속화 하는 방향으로 추진시키고 있습니다. α시리즈는 뛰어난 제진 성능은 물론, 큰 하중에도 대응할 수 있어, 탑재 스테이지에 의한 과도응답을 재빨리 제거하는 제진 성능을 실현합니다.



 

특징

탑재장치중량에 맞춘 알파시리즈의 웨이트 리프팅 기술

- 4유닛으로 720kg ~ 23.2톤 장치까지 확실하게 지탱할 수 있습니다.

- 유닛 수를 늘림으로써 초대형 하중장치를 탑재할 수 있습니다.

용도

장치 요구에 맞춘 3타입

- 제진 성능을 중심으로 한 장치 - L타입

- 제진(진동제거), 제진(진동제어)가 충분히 필요한 장치 - M타입

- 제진 성능을 중심으로 한 장치 - H타입

진동 전달특성                                                 제진 성능


 

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