스핀코터
** 초정밀 그래픽모드 탑재 스핀코터 **
Spin Coater ACE-200, Top-8, ISC-4
* 발주후 3일 이내 (A/S 3일 이내) *
특허취득 스핀코터 (Spin Coater)스핀코팅 (spin coating)시에 RPM속도와 그 속도에 맞는 그래프를
육안으로 확인할 수 있는 그래픽모드 관련하여 특허취득 (특허제 10-0936100호)
- 이 그래픽모드로 인하여 코팅데이터값을 쉽고 빠르게 얻을 수 있습니다.
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0 또는 50 ~ 8,000 R.P.M까지 가능한
초정밀 스핀코터 (Spin Coater) ACE-200 / Top-8 / ISC-4
당사가 제조하는 초정밀 그래픽 모드 스핀코터는 세계 최초로 특허를 받고
국내 기업체의 연구소 및 벤처기업, 각 대학의 이공대 연구실, 국가기관 연구소에서 사용되고 있으며,
전 세계에 수출하고 있는 장비입니다.
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스핀코터 (ACE-200) |
볼, 버큠척등 변형 공급 |
스핀코터 (TOP-8) |
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* 본체, Vacuum Chuck, Oiless Vacuum Pump 각 1EA, 1SET *
* 샘플사이즈에 맞추어 Vacuum Chuck 제작 *
* 보울, 커버, 배큠척 등을 테프론등으로 변경하여 제작 가능 * |
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인증마크 획득초 정밀 그래픽모드 스핀코터 ( Spin coater ) : ACE-200 (컴팩트형)
| 초 정밀 그래픽모드 중형 스핀코터(Spin coater) : Top-8 | |
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문의
TEL. 02.868.8787
tok61@naver.com
1. 고성능.컴퍀트 타입.
2. 고속 및 저속 (50~8,000rpm) 에서도 고정밀도를 유지합니다.
3. 실시간 회전 모터 회전을 모니터로 그래픽과 숫자로 표현 됨으로서 END-USER가 원하는 코팅 DATA값을 빠르게 구현 (세계 최초 특허 취득)**
4. 저렴한 가격 간단한 설계 저소음 저진동
5. 최대 100프로그램 100스텝 입력가능
6. 초당 3,000RPM 가속 가감
7. 급정지 위치제어 기능 탁월 , 저속고속 RPM에도 안정적으로 코팅
8. 관리비용(Running Cost) 저렴.
9. 콤팩트한 내부 외부로, 유지보수 및 A/S간단
** 당사가 제조하는 스핀코터의 그래픽 화면
(LCD의 그래픽화 구현 : 스핀코팅 시에 스탭별 스핀 데이터를 실시간 그래픽과 숫자로
표현하여 스핀코팅 데이터값을 얻을수 있다.)
인증마크 획득특징
1. 0 또는 50 ~ 8,000 R.P.M까지 스피드를 자유롭게 올리고 내리면서 사용할 수 있습니다.
(Speed R.P.M : Up & Down Free: 3,000 / Sec)
2. controller 보드 하나로 스핀코터를 구현하므로 고장이 거의없고, 만약 발생시 A/S가 아주 간단합니다.
(A/S 3일이내, 내부, 외부 장치 Compact화 구현)
3. 스핀코터의 외형 높이를 최대한 낮게 제조해서 글로브 박스안에 놓고도 용이하게 사용할 수 있습니다.
(높이 240 mm: 글로브 박스에 적용에도 최적입니다.)
4. 100 스탭, 100 프로그램을 사용 하므로서 자유롭게 원하시는 스핀코터 데이터를 얻을 수 있습니다.
(실시간 그래픽으로 스탭별 코팅과정을 볼 수 있습니다. 세계최초 특허 획득)
5. Spin Controller 의 프로그램으로 스핀코터 동작시 초보자도 쉽게 사용할 수 있습니다. (디지탈 방식 스핀코터 채택)
6. 스핀코터의 볼 청소를 아주 쉽고, 간단하게 할 수 있습니다.
7. 외국 스핀코터와 비교할 때 다양한 기능 및 좋은 성능에 비해 스핀코터 가격을 저렴화 시켰습니다.
8. 스핀코터의 안전장치 : 버큠이 척과 시료에 안잡히면 작동이 안되어 운영자의 안전을 최우선으로 고려하여 개발, 생산했습니다.
9. 스핀코터 셋팅시킨 R.P.M 수치와 실제로 돌아가는 R.P.M을 볼 수 있어 회전 정밀도를 순간, 순간 확인할 수 있습니다.
(고 정밀도 스핀코터 실현화)
10. 당사의 스핀코터는 내부 구조가 spin motor + power supply + simple controller (board)로 구성되어 있어서 마치 PC를 업그레이드 하듯이 간단하게 수리가 가능하므로(2~3일 이내) 보다 안전하고 편리하게 사용 하실수 있습니다.
11. 스핀코터 전용의 강력한 모터와 프로그램을 연결, high R.P.M 구현하며 실시간 회전의 동작을 그래픽으으로 확인하므로써 코팅의 테이터를 쉽게 구할 수 있어 연구 개발에 큰 기여를 하는 스핀코터 입니다.
12. 위치제어 기능이 있어 정지시 시료(웨이퍼, 글라스 등등)를 원하는 위치에 정지 기능이 있어 시료 Handling에도 최적입니다.
13. 저속, 고속 R.P.M 에도 안정적으로 코팅 구현. (50 R.P.M 에도 여유롭게 작동, 고 R.P.M 에도 OK)
●저렴한 가격, 간단한 설계, 저소음, 저진동
●스핀코터의 정밀도 : 허용오차 土1rpm 으로 매우 뛰어난 회전 정밀도
●회전수 표시,신뢰성이 높은 실회전수 표시 / LCD상 그래픽으로 스핀 구동을 실시간 볼 수가 있어 코팅 데이터를 쉽고 빠르게 구현하여 연구, 개발 시간이 단축됩니다.
●스핀코터 프로그램은 최대 100스텝, 100프로그램 입력 가능
●스핀코터의 회전 속도 가속, 감속 (acceleration & deceleration) 자유롭게 구성 (최대 초당 3,000 R.P.M 가속, 가감)
●급 정지 가능 (여러가지 시료 및 포토레지스트, 화학약품에 대응)
●위치 제어 기능으로 정지시 원하는 위치에 정지 (시료 Handling에도 최적)
●저속, 고속 R.P.M 에도 안정적으로 코팅 구현
이용 가능한 척 목록
No | 품 명 및 규 격 (DESCRIPTION & SIZE) | 제품 이미지 |
1 | 조각시편 Vacuum Chuck For Sample Size 0.5~0.8cm (Material : AL) | |
2 | 2Ø Vacuum Chuck For Sample Size 0.8cm ~ 2cm (Material : AL) | |
3 | 10Ø Vacuum Chuck For Sample Size 2cm ~ 5cm (Material : AL) | |
4 | 2" Vacuum Chuck For Sample Size 5cm ~ 7.5cm (Material : AL) | |
5 | 3~4" Vacuum Chuck For Sample Size 7.5cm~10cm (Material : AL) | |
6 | Vacuum Chuck For Film Sample (Material : AL or Acetal) | |
7 | 6 " Vacuum Chuck_pp+AL |
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8 | 8 " Vacuum Chuck_pp |
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| 초 정밀 그래픽모드 중형 스핀코터(Spin coater) : Top-8 | |
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기존의 투명아크릴커버 대신에 인터락 세이프티(Interlock safety) 기능 추가가능
* 푸시버튼센서를 통하여 커버가 닫혀있는 상태에서만 동작가능
* 커버를 오픈할경우에는 Spin 기능 자동정지 (Start 기능도 잠김) 하여 안전기능 강화.
>>> 전원차단상태가 아닌 회전동작만 정지할 수있도록 프로그래밍화되어 있음 <<<
당사의 스핀코터 외에, 타사 스핀코터도 저렴한 가격으로 보상판매하고 있습니다.
문의 : 동아무역 Tel. (02)868-8787 e-mail: tok61@naver.com
