당사가 제조하는 스핀코터(Spin coater)의 그래픽 화면
(LCD의 그래픽화 구현 : 스탭별 스핀 데이터를 그래픽 또는 문자모드로 실시간 자유롭게 볼 수 있음)
특징
1. 0 또는 50 ~ 8,000 R.P.M까지 스피드를 자유롭게 올리고 내리면서 사용할 수 있습니다.
(Speed R.P.M : Up & Down Free: 3,000 or 6,000/ Sec)
2. controller 보드 하나로 스핀코터를 구현하므로 고장이 거의없고, 만약 발생시 A/S가 아주 간단합니다.
(A/S 3일이내, 내부, 외부 장치 Compact화 구현)
3. 스핀코터의 외형 높이를 최대한 낮게 제조해서 글로브 박스안에 놓고도 용이하게 사용할 수 있습니다.
(높이 200 mm: 글로브 박스에 적용에도 최적입니다.)
4. 100 스탭, 100 프로그램을 사용 하므로서 자유롭게 원하시는 스핀코터 데이터를 얻을 수 있습니다.
(실시간 그래픽으로 스탭별 코팅과정을 볼 수 있습니다. 세계최초 특허 획득)
5. Spin Controller 의 프로그램으로 스핀코터 동작시 초보자도 쉽게 사용할 수 있습니다. (디지탈 방식 스핀코터 채택)
6. 스핀코터의 볼 청소를 아주 쉽고, 간단하게 할 수 있습니다.
7. 외국 스핀코터와 비교할 때 다양한 기능 및 좋은 성능에 비해 스핀코터 가격을 저렴화 시켰습니다.
8. 스핀코터의 안전장치 : 버큠이 척과 시료에 안잡히면 작동이 안되어 운영자의 안전을 최우선으로 고려하여 개발, 생산했습니다.
9. 스핀코터 셋팅시킨 R.P.M 수치와 실제로 돌아가는 R.P.M을 볼 수 있어 회전 정밀도를 순간, 순간 확인할 수 있습니다.
(고 정밀도 스핀코터 실현화)
10. 당사의 스핀코터는 내부 구조가 spin motor + power supply + simple controller (board)로 구성되어 있어서 마치 PC를 업그레이드 하듯이 간단하게 수리가 가능하므로(2~3일 이내) 보다 안전하고 편리하게 사용 하실수 있습니다.
11. 스핀코터 전용의 강력한 모터와 프로그램을 연결, high R.P.M 구현하며 실시간 회전의 동작을 그래픽으으로 확인하므로써 코팅의 테이터를 쉽게 구할 수 있어 연구 개발에 큰 기여를 하는 스핀코터 입니다.
12. 위치제어 기능이 있어 정지시 시료(웨이퍼, 글라스 등등)를 원하는 위치에 정지 기능이 있어 시료 Handling에도 최적입니다.
13. 저속, 고속 R.P.M 에도 안정적으로 코팅 구현. (50 R.P.M 에도 여유롭게 작동, 고 R.P.M 에도 OK)
●저렴한 가격, 간단한 설계, 저소음, 저진동
●스핀코터의 정밀도 : 허용오차 土1rpm 으로 매우 뛰어난 회전 정밀도
●회전수 표시,신뢰성이 높은 실회전수 표시 / LCD상 그래픽으로 스핀 구동을 실시간 볼 수가 있어 코팅 데이터를 쉽고 빠르게 구현하여 연구, 개발 시간이 단축됩니다.
●스핀코터 프로그램은 최대 100스텝, 100프로그램 입력 가능
●스핀코터의 회전 속도 가속, 감속 (acceleration & deceleration) 자유롭게 구성 (최대 초당 3,000 R.P.M 가속, 가감)
●급 정지 가능 (여러가지 시료 및 포토레지스트, 화학약품에 대응)
●위치 제어 기능으로 정지시 원하는 위치에 정지 (시료 Handling에도 최적)
●저속, 고속 R.P.M 에도 안정적으로 코팅 구현
Reference Data to purchase for spin coater as follow :
1. SPIN COATER (MODEL: TOP-8) : Using to vacuum chuck 5 to 8 inch is very good.
2. SPIN COATER (MODEL: ACE-200) : Using to vacuum chuck 4 inch under is very good.
Optional Vacuum chucks
Spin Coater Chuck ion (스핀코터 버큠 척 종류)
Chucks are machined to close tolerances and provide an exceptionally flat, rigid surface for mounting substrates of different sizes, weights,
and shapes. Custom chucks are also available.
Proper chuck ion should be based upon substrate size and rigidity. The proper chuck diameter is 1/4 to 1 inch smaller than the substrate diameter.
The entire substrate should be supported if it is flexible, fragile, or when it is to be wiped or brushed during cleaning.
Vacuum chucks are available in stainless steel, hard anodized aluminum. Please specify the material of choice and chuck size when ordering.
** OPTION제품 **
척(CHUCK=SAMPLE HOLDER)
** 특수 CHUCK 주문제작가능합니다.**
스핀코터용 디스펜서(Dispencer) & 핫플레이트(Hot Plate)
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스핀코터 / Spin Coater / ACE-200 (초정밀 그래픽 스핀코터 그래픽모드 세계최초 특허획득)
당사가 제조하는 초 정밀 그래픽 모드 스핀코터는 세계 최초로 특허를 받고
국내 기업체의 연구소및 벤처기업 , 각 대학의 이공대 실험실, 국가기관 연구소에서 사용되고 있으며,
전 세계에 수출하는 제품입니다.
스핀코터(Spin coater) 납품 실적 (국내 기업체 연구소, 대학교, 이공대 대학원, 국가 연구소 공급 ! 조달청 등록)
20년 노하우! 이제 더 이상 외제를 사실 필요없이 당사가 제조하는 스핀코터로 사용하십시오.
Quality Good, A/S는 3일이내!
초 정밀 디지탈 그래픽 모드 스핀코터 (세계최초 특허 취득. 허용 오차 ± 1 R.P.M 구현! 세계 TOP ! 명품 스핀코터 ! )
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1. 고성능.컴펙트 타입.
2. AC 모터를 사용하여 모터의 열 발생을 최소화합니다.
3. 고속 (8000Rpm 이상) 에서도 고정밀도를 유지합니다.
4. 저렴한 가격 간단한 설계 저소음 저진동
5. 최대 100프로그램 100스텝 입력가능
6. 초당 3,000RPM 가속 가감
7. 급정지 위치제어 기능 탁월 , 저속고속 RPM에도 안정적으로 코팅
8. 콤팩트한 내부 외부 A/S간단
당사가 제조하는 스핀코터(Spin coater)의 그래픽 화면
(LCD의 그래픽화 구현 : 스탭별 스핀 데이터를 그래픽 또는 문자모드로 실시간 자유롭게 볼 수 있음)
특징
1. 0 또는 50 ~ 8,000 R.P.M까지 스피드를 자유롭게 올리고 내리면서 사용할 수 있습니다.
(Speed R.P.M : Up & Down Free: 3,000 or 6,000/ Sec)
2. controller 보드 하나로 스핀코터를 구현하므로 고장이 거의없고, 만약 발생시 A/S가 아주 간단합니다.
(A/S 3일이내, 내부, 외부 장치 Compact화 구현)
3. 스핀코터의 외형 높이를 최대한 낮게 제조해서 글로브 박스안에 놓고도 용이하게 사용할 수 있습니다.
(높이 200 mm: 글로브 박스에 적용에도 최적입니다.)
4. 100 스탭, 100 프로그램을 사용 하므로서 자유롭게 원하시는 스핀코터 데이터를 얻을 수 있습니다.
(실시간 그래픽으로 스탭별 코팅과정을 볼 수 있습니다. 세계최초 특허 획득)
5. Spin Controller 의 프로그램으로 스핀코터 동작시 초보자도 쉽게 사용할 수 있습니다. (디지탈 방식 스핀코터 채택)
6. 스핀코터의 볼 청소를 아주 쉽고, 간단하게 할 수 있습니다.
7. 외국 스핀코터와 비교할 때 다양한 기능 및 좋은 성능에 비해 스핀코터 가격을 저렴화 시켰습니다.
8. 스핀코터의 안전장치 : 버큠이 척과 시료에 안잡히면 작동이 안되어 운영자의 안전을 최우선으로 고려하여 개발, 생산했습니다.
9. 스핀코터 셋팅시킨 R.P.M 수치와 실제로 돌아가는 R.P.M을 볼 수 있어 회전 정밀도를 순간, 순간 확인할 수 있습니다.
(고 정밀도 스핀코터 실현화)
10. 당사의 스핀코터는 내부 구조가 spin motor + power supply + simple controller (board)로 구성되어 있어서 마치 PC를 업그레이드 하듯이 간단하게 수리가 가능하므로(2~3일 이내) 보다 안전하고 편리하게 사용 하실수 있습니다.
11. 스핀코터 전용의 강력한 모터와 프로그램을 연결, high R.P.M 구현하며 실시간 회전의 동작을 그래픽으으로 확인하므로써 코팅의 테이터를 쉽게 구할 수 있어 연구 개발에 큰 기여를 하는 스핀코터 입니다.
12. 위치제어 기능이 있어 정지시 시료(웨이퍼, 글라스 등등)를 원하는 위치에 정지 기능이 있어 시료 Handling에도 최적입니다.
13. 저속, 고속 R.P.M 에도 안정적으로 코팅 구현. (50 R.P.M 에도 여유롭게 작동, 고 R.P.M 에도 OK)
●저렴한 가격, 간단한 설계, 저소음, 저진동
●스핀코터의 정밀도 : 허용오차 土1rpm 으로 매우 뛰어난 회전 정밀도
●회전수 표시,신뢰성이 높은 실회전수 표시 / LCD상 그래픽으로 스핀 구동을 실시간 볼 수가 있어 코팅 데이터를 쉽고 빠르게 구현하여 연구, 개발 시간이 단축됩니다.
●스핀코터 프로그램은 최대 100스텝, 100프로그램 입력 가능
●스핀코터의 회전 속도 가속, 감속 (acceleration & deceleration) 자유롭게 구성 (최대 초당 3,000 R.P.M 가속, 가감)
●급 정지 가능 (여러가지 시료 및 포토레지스트, 화학약품에 대응)
●위치 제어 기능으로 정지시 원하는 위치에 정지 (시료 Handling에도 최적)
●저속, 고속 R.P.M 에도 안정적으로 코팅 구현
Reference Data to purchase for spin coater as follow :
1. SPIN COATER (MODEL: TOP-8) : Using to vacuum chuck 5 to 8 inch is very good.
2. SPIN COATER (MODEL: ACE-200) : Using to vacuum chuck 4 inch under is very good.
Optional Vacuum chucks
Spin Coater Chuck ion (스핀코터 버큠 척 종류)
Chucks are machined to close tolerances and provide an exceptionally flat, rigid surface for mounting substrates of different sizes, weights,
and shapes. Custom chucks are also available.
Proper chuck ion should be based upon substrate size and rigidity. The proper chuck diameter is 1/4 to 1 inch smaller than the substrate diameter.
The entire substrate should be supported if it is flexible, fragile, or when it is to be wiped or brushed during cleaning.
Vacuum chucks are available in stainless steel, hard anodized aluminum. Please specify the material of choice and chuck size when ordering.
사양
1. 모델 : ACE - 200
2. 시료 크기 : 최대 6 inch
3. 회전수 : 0 ~ 50, 50 ~ 8,000 Rpm
4. 모터 : AC 모터
초 정밀 그래픽모드 스핀코터(Spin coater) : ACE-200 (컴팩트형)
Specification : 글로브 박스에 적용에도 최적.
| Wafer size(Max.) | piece to 4" diameter, 6" |
| Bowl size | 235 m/m Bowl |
| Bowl material | SUS (option: P.P, Tefelon, etc) |
| Special DC Motor | Up & Down free |
| Step | 100 step |
| Memory storage | 100 program |
| Rotation Speed | 0 to 50 ~ 8,000 rpm |
| Hold Time | 1~999sec |
| Accuracy | ± 1 R.P.M |
| acceleration, deceleration free | 3,000 R.P.M/sec |
| Graphic Fuction | Real time for steps (스핀구동 그래픽으로구현) |
| Power Input | AC 220V, 50/60Hz |
| Vacuum Input | -450~-650mmHg (6mm ID / 8mm OD) |
| Display | LCD (Back Light) |
| System Controller | MCU (Digital Microprocess) |
| Dimension (W X D X H) | 320 X 420 X 220 mm |
초 정밀 그래픽모드 중형 스핀코터(Spin coater) : TOP-8 | |
| Specification | |
| Wafer size(Max.) | 1/2 ~ 8" diameter (piece to 8 inch) |
| Bowl size | 360 m/m |
| Bowl material | SUS |
| Special Servo Motor | Up & Down free |
| Step | 100 step |
| Memory storage | 100 program |
| Rotation Speed | 0 to 50 ~ 5,000 rpm |
| Hold Time | 1~999sec |
| Accuracy | ± 1 R.P.M |
| acceleration, deceleration free | 3,000 R.P.M/sec |
| Graphic Fuction | Real time for steps (스핀구동 그래픽으로구현) |
| Power Input | AC 220V, 50/60Hz |
| Vacuum Input | -450~-650mmHg (6mm ID / 8mm OD) |
| Display | LCD (Back Light) |
| System Controller | MCU (Digital Microprocess) |
| Dimension (W X D X H | 540 X 440 X 325 mm |
** OPTION제품 **
척(CHUCK=SAMPLE HOLDER)
** 특수 CHUCK 주문제작가능합니다.**
스핀코터용 디스펜서(Dispencer) & 핫플레이트(Hot Plate)