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반도체·LCD 연구장비
샤말 핫플레이트 HHP-411 / HHP-411SC / HHP-412 / HHP-412SC 샤말 핫플레이트 HHP-411V / HHP-4030 / HHP-230SQ / HHP-330SQ 핫플레이트 HPR-4030 / HPRB-6040 / HPRH-4030
탁상형 초음파 세척기 WT-100M/WT-200M/WT-300M 액티브제진대(Active 제진대) 초음파현미경(Ultrasonic Microscope)
핫플레이트(Hot Plate) EQ-SH-3 핫플레이트(Hot Plate) EQ-HP-3040 핫플레이트(Hot Plate) EQ-HP-1515-LD
류수식 초음파 세정기 포인트 타잎(고주파) W-357-3MPG Mikasa Spincoater(스핀코터) Ms-B100 / Ms-B150 / Ms-B200 / MS-B300 류수식초음파세정기포인트타잎(고주파)W-357-1.5MPG
류수식 초음파 세정기 포인트 타잎(저주파) W-357P-50 류수식 초음파 정기 포인트타잎(펄스제트)W-357-1MPG 조도계 LM-555
UV(자외선)오존세정장비 / UV-208 글래스웨이퍼(Glass Wafer)/Sodalime, Eagle XG, Borofloat 33 인장기 / KDPI-205
다이아몬드 쏘 / KDPI-310 수동 마운팅기 / KDPI-320 폴리셔 1구 / KDPI-330
폴리셔 2구 / KDPI-335 커팅기 / KDPI-300B Desktop Dip Coater(딥코터)
Millimeter Grade Programmable Dip Coater(딥코터) PLC Controlled Precision Dip Coater(딥코터) PLC Controlled Precision Dip Coater (딥코터)
전기로(소형 PECVD) / 퍼니스 버큠펌프 (Vacuum Pump) PR 스프레이코터
웨이퍼 현상장비(Wafer Developer) EQ-AS-SE304-PZ-LD (현미경) EQ-MM500T-USB (현미경)
EQ-MM300T-USB(현미경) EQ-MS-XJM413H(현미경) EQ-MS-XJM213H(현미경)
EQ-MS-ZMKZ03(현미경) 표면저항측정기 (Four-Point-Probes/4point probes) SRM-232 초음파 기포 감지센서 HKS0620 / HKS0630
조도계 LM-777 중량센서 EGA 시리즈 토출센서 KP-3 KP-4
고성능 액티브 자기장 캔슬러 진동감시 시스템 미세진동계측/녹화해석시스템
면진 장치 제진장치 / 제진대 / 제진장비 방진장치
액티브 제진 유닛 α시리즈 탁상형 액티브 제진대 δTA 초음파 미니 용착기 SONAC-37
초음파 탐상 영상장치 HA-701W 전자현미경 트리밍세트 ZO-41(초음파커터) 초음파 커터기 USW-334
초음파 커터기 USW-335TI 탁상형 초음파 세척기 W-113 세정기 조정검사 · 품질관리기 HUS-3
초음파세척기 W-113MK-II 탁상형 초음파 세척기 W-170ST 유수식 세척기 라인타잎 W-357LS-380
초음파세척기 WDX-600-I, WDX-1200-I 초음파세척기 W-115 / W-118 고주파초음파세정기 W-357HPM
Diamond SAW (시료 및 웨이퍼용 시편절단기: Cutting Machine) 폴리셔(Polisher : 시편연마기) Polishing machin 초정밀 스핀디벨로퍼, 스핀에처, 웨이버세정장비(DAD-0627-SPIN DEVELOPER)
스핀에처 (spin etcher) & 스핀디벨로퍼(Spin Developer)